预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/8
2/8
3/8
4/8
5/8
6/8
7/8
8/8

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110644045A(43)申请公布日2020.01.03(21)申请号201911107574.8(22)申请日2019.11.13(71)申请人江苏实为半导体科技有限公司地址221300江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路北侧、华山北路西侧(72)发明人石启磊陈淼淼刘同武(51)Int.Cl.C30B25/10(2006.01)C23C16/46(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种具有升降功能的MOCVD加热器源(57)摘要本发明公开了一种具有升降功能的MOCVD加热器源,包括方口筒、杯体、侧环板、放置网板、外齿环块、凹面环槽、扇形板、圆环、圆块、圆柱槽、液压推杆、方条块、导向槽、滑块、方孔、柱形室、齿轮、放置槽、微型电机、环形槽、滚珠、电加热丝和侧环槽。本发明,具有向上旋转及向下旋转形成升降的功能,能够对加热源产生的热量进行集中或分散,达到在加热源通电一定的情况下改变热量大小的效果,便于更好地给物体加热,能够改变限定四个扇形板展开大小,达到改变加热源加热区域面大小的效果,具有带动带加热物体旋转的功能,便于更换环形区间内的加热位置,更好地为物体加热。CN110644045ACN110644045A权利要求书1/1页1.一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:包括杯体(2)、升降机构、侧滑机构和旋转机构,所述杯体(2)环形面相应位置环形等距开设有四个方孔(15),且杯体(2)端口内壁开设有凹面环槽(6),所述凹面环槽(6)槽口顶部环壁和底部环壁均安装有侧环板(3);所述升降机构包括液压推杆(11),所述液压推杆(11)的推杆端安装有圆块(9),且圆块(9)通过连杆与圆环(8)固定连接,所述圆环(8)上滑动等距活动安装有四个扇形板(7),且四个所述扇形板(7)一侧扇形面分布安装有电加热丝(22);所述侧滑机构包括方条块(12),所述方条块(12)底部开设有导向槽(13),且导向槽(13)通过滑块(14)与对应的方孔(15)内底部滑动连接,所述方条块(12)内侧端口通过活动连接结构与对应的扇形板(7)外侧圆弧面中部活动连接;所述旋转机构包括外齿环块(5),所述外齿环块(5)通过滚珠(21)与两个侧环板(3)之间滚动连接,且外齿环块(5)环形面的齿槽部分与齿轮(17)啮合连接,所述齿轮(17)转动安装在柱形室(16)内,且齿轮(17)顶端轴杆安装在微型电机(19)的轴杆一端。2.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述柱形室(16)与凹面环槽(6)内部相应部位连通,且凹面环槽(6)槽口内伸入有外齿环块(5)相应部分。3.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述方孔(15)外侧端口安装有方口筒(1)一端端口,且方口筒(1)的长度大于方条块(12)的长度。4.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述液压推杆(11)安装在圆柱槽(10)内,且圆柱槽(10)开设在杯体(2)底部中间位置。5.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述侧环板(3)内侧环壁开设有环形槽(20),且环形槽(20)横截面为半圆结构。6.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述外齿环块(5)两侧圆环面均开设有侧环槽(23),且侧环槽(23)与同一侧的环形槽(20)之间滚动安装有若干个滚珠(21)。7.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述外齿环块(5)内环孔内卡固有放置网板(4),且放置网板(4)位于四个扇形板(7)顶部。8.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述电加热丝(22)通过导电线与内置控制元件及外接电源电性连接,且电加热丝(22)在相应的扇形板(7)表面形成扇形加热面。9.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述微型电机(19)安装在放置槽(18)内,且放置槽(18)开设在杯体(2)环形面相应位置处。10.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源,其特征在于:所述液压推杆(11)通过细钢管与外接液压油输出控制设备连接,且液压推杆(11)的推杆滑动穿过杯体(2)内底部。2CN110644045A说明书1/4页一种具有升降功能的MOCVD加热器源技术领域[0001]本发明涉及一种加热器源,具体是一种具有升降功能的MOCVD加热器源,属于MOCVD应用技术领域。背景技术[0002]MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材