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一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法.pdf
2023-08-27
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本发明公开了一种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法，包括放置板、放置槽、支撑腿、滚轮、液压缸、连接板、电动推杆、推板、防滑凸块、电动机、固定板、紧固螺栓、固定座、防滑纹、支撑块、转动槽、滚珠和MOCVD加热器源本体。该种便于拆装维修的MOCVD加热器源及其操作方法结构简单、设计新颖，便于工作者进行调节MOCVD加热器源的放置位置，方便工作者进行维修，同时便于MOCVD加热器源维修过程中不发生左右滑动，利于使用，通过设置的缓冲机构的作用下，便于提高固定座对MOCVD加热器源本体的支撑效果，保障固定
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