衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110943016A(43)申请公布日2020.03.31(21)申请号201910757476.2(22)申请日2019.08.16(30)优先权数据2018-1780162018.09.21JP(71)申请人株式会社斯库林集团地址日本京都(72)发明人桑原丈二村井征尔(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287代理人陈甜甜(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书3页说明书26页附图24页(54)发明名称衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法(57)摘要本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法。通常，第2衬底搬送机构被设定为从衬底缓冲部向载置在开启器的前开式晶圆盒搬送衬底。然而，在满足规定条件的情况下，第2衬底搬送机构从前开式晶圆盒向衬底缓冲部搬送衬底。也就是说，第2衬底搬送机构进行与通常的衬底搬送动作不同的动作。由此，第2衬底搬送机构能够在从特定前开式晶圆盒取出所有衬底后至将所有已处理过的衬底收纳到特定前开式晶圆盒为止的期间，使特定前开式晶圆盒停留在特定前开式晶圆盒的载置位置(开启器)。由此，前开式晶圆盒搬送机构能够搬送除特定前开式晶圆盒以外的前开式晶圆盒，所以能够提高前开式晶圆盒的搬送效率。CN110943016ACN110943016A权利要求书1/3页1.一种衬底处理装置，对衬底进行处理，且包含以下要素：处理区块，对从能够收纳多个衬底的载体搬送的衬底进行规定的处理；2个以上的第1载体载置部，分别供载置所述载体；2个以上的第2载体载置部，分别供载置所述载体；衬底缓冲部，用来向所述处理区块送出衬底、及从所述处理区块移回衬底，且能够载置多个衬底；衬底搬送机构，搬送衬底；空载体架，供载置所有衬底被取出后变空的所述载体；以及载体搬送机构，搬送所述载体；且所述衬底搬送机构被设定为从所述2个以上的第1载体载置部各自所载置的所述载体向所述衬底缓冲部搬送衬底，并且被设定为从所述衬底缓冲部向所述2个以上的第2载体载置部各自所载置的所述载体搬送衬底；在所述2个以上的第1载体载置部均未载置所述载体的情况下、在所述2个以上的第2载体载置部中的至少任一个未载置所述载体的情况下、及在所述空载体架未载置所述载体的情况下，所述载体搬送机构向所述2个以上的第2载体载置部中的任一个搬送特定载体；所述衬底搬送机构从所述特定载体向所述衬底缓冲部搬送衬底，之后，从所述衬底缓冲部向所述特定载体搬送由所述处理区块处理后的已处理过的衬底；所述载体搬送机构在由所述衬底搬送机构从所述特定载体取出所有衬底后至将所有已处理过的衬底收纳到所述特定载体为止的期间，使所述特定载体停留在所述特定载体的载置位置。2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中在所述2个以上的第1载体载置部均未载置所述载体的情况下、在所述2个以上的第2载体载置部中的任一个未载置所述载体的情况下、及在所述空载体架未载置所述载体的情况下，所述载体搬送机构向所述2个以上的第2载体载置部中的任一个搬送所述特定载体。3.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其还具备上游侧保管架，所述上游侧保管架设置在所述第1载体载置部的上游，所述衬底搬送机构从所述2个以上的第1载体载置部中的任一个所载置的所述载体取出所有衬底后产生第1空载体，所述载体搬送机构具备固持所述载体的2个固持部，所述载体搬送机构通过使用所述2个固持部来进行替换动作，也就是将所述2个以上的第1载体载置部中的任一个所载置的所述第1空载体替换为所述上游侧保管架上所载置的载体，所述载体搬送机构在相比预测为产生所述第1空载体的时间点的时间点为预先设定的时间前，开始载置在所述上游侧保管架的载体的搬送动作，以进行所述替换动作，所述预先设定的时间是从载置在所述上游侧保管架的载体的搬送动作开始至所述载体搬送机构成为能够搬送所述第1空载体的状态的时间点为止的时间。4.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中所述衬底搬送机构将所有衬底收纳到所述2个以上的第2载体载置部中的任一个所载置的第2空载体后产生已处理衬底载体，2CN110943016A权利要求书2/3页所述载体搬送机构具备固持所述载体的2个固持部，所述载体搬送机构通过使用所述2个固持部，进行替换动作，也就是将所述2个以上的第2载体载置部中的任一个所载置的所述已处理衬底载体替换为载置在所述空载体架的第3空载体，所述载体搬送机构在相比预测为产生所述已处理衬底载体的时间点的时间点为预先设定的时间前，开始载置在所述空载体架的所述第3空载体的搬送动作，以进行所述替换动作，所述预先设定的时间是从载置在所述空载体架的所述第3空载体的搬送动作开始至所述载体搬送机构成为能