一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111058010A(43)申请公布日2020.04.24(21)申请号201910913163.1C23C14/54(2006.01)(22)申请日2019.09.25(71)申请人广东汇成真空科技股份有限公司地址523838广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号(72)发明人李志荣冯晓庭魏艳玲周锐刘江江邓石新黄雄(74)专利代理机构广州知友专利商标代理有限公司44104代理人周克佑(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/02(2006.01)C23C14/32(2006.01)C23C14/35(2006.01)权利要求书3页说明书19页附图9页(54)发明名称一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备(57)摘要一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，设有等离子体除残留胶腔室,前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室侧面开了两窗口、一侧设有轨道；高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车，小车行走在轨道上、上面设有由立面板和框架组成的密封门托架，立面板上固定着伸向窗口的槽型支承抽屉；离子清除残胶高压棒组件固定在立面板上；柱状弧光电子源刻蚀装置组件，包括柱状弧光电子源和第二移动小车组件；柱状弧光电子源固定在立面板上；通过移动小车在垂直于机架的轨道上的来回行走，使得离子清除残胶高压棒组件和柱状弧光电子源可推入或拉出腔室。本发明除胶效果良好。CN111058010ACN111058010A权利要求书1/3页1.一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，包括依次前后真空连接的放卷舱(1)、加热舱(10)、离子轰击刻蚀舱(14a)、镀膜舱(14b)、冷却与箔带張力调整舱(15)和收卷舱(19)，其特征是：在所述放卷舱(1)与加热舱(10)之间，设有真空离子除残胶舱(9)，其包括：等离子体除残留胶腔室,为扁形箱体，支承在一等离子体清除残胶腔室机架(24)上，腔室分为前后两段，前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室的一侧面对应开了前后两个窗口，对应于两个窗口的机架一侧，各设有垂直于机架的轨道；高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件(I)，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车组件，所述第一移动小车组件又包括：移动小车(40)、密封门托架(41)和支承抽屉盒(41-0)，移动小车(40)的底部安装有滑轮组件行走在所述垂直于机架的轨道上、上面设有由框架和平行于等离子体除残留胶腔室的前段的侧面窗口的立面板组成的密封门托架(41)，立面板朝向窗口方向的面为密封面与窗口的窗框对应密封设计，立面板上固定着伸向窗口的槽型的支承抽屉盒(41-0)；包括等离子体清除残胶高压棒(42)的离子清除残胶高压棒组件固定在立面板上且位于支承抽屉盒内；柱状弧光电子源刻蚀装置组件(Ⅱ)，包括柱状弧光电子源和与第一移动小车组件相同的第二移动小车组件；包括旋转柱状阴极电弧靶体(67)的柱状弧光电子源固定在立面板上且位于支承抽屉盒内；各自移动小车在垂直于机架的轨道上的来回行走，应使得各自安装在移动小车组件上的等离子体清除残胶高压棒(42)和旋转柱状阴极电弧靶体(67)从对应的窗口分别推入或拉出等离子体除残留胶腔室。2.根据权利要求1所述的金属箔带卷绕式真空镀膜设备，其特征是：所述的移动小车(40)与其上面的密封门托架(41)通过一连接滑动头组件连接，连接滑动头组件结构为：在移动小车(40)的底板竖孔中、从下往上穿入一带凸肩的小车连接头(66)，並用连接件将它们固连在一起，小车连接头的上端穿入密封门托架的底板的竖孔中，並套在带凸环的小车连接头隔套(64)内，设有小车连接头挡圈(63)卡在密封门托架底板竖孔上，并以连接件把小车连接头挡圈(63)与小车连接头固定在一起；所述密封门托架的竖孔或移动小车的竖孔其中一为长条孔槽。3.根据权利要求2所述的金属箔带卷绕式真空镀膜设备，其特征是：所述的离子清除残胶高压棒组件包括等离子体清除残胶高压棒(42)、高压棒绝缘座(43)、高压棒封板(44)和高压棒密封引入接头(Ⅰ-Ⅰ)；等离子体清除残胶高压棒(42)的右端通过高压棒密封引入接头(Ⅰ-Ⅰ)穿过所述密封门托架(41)的立面板并实现密封固连后外接高压棒专用电源的负极，专用电源正极接地；等离子体清除残胶高压棒(42)的左端有高压棒封板(44)，固定在所述支承抽屉盒(41-0)内的高压棒绝缘座(43)支承着高压棒(42)的尾部；当支承抽屉盒(41-0)被推进腔室内时，高压棒(42)沿箔带宽度方向延伸并位于向前输送的箔带下方。4.根据权利要求3所述的金属箔带卷绕式真空镀膜设备，其特征是：所述的高压棒密封引入接头(Ⅰ-Ⅰ)结构包括引线轴(45)、引