一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111266992A(43)申请公布日2020.06.12(21)申请号202010199006.1(22)申请日2020.03.20(71)申请人苏州斯尔特微电子有限公司地址215000江苏省苏州市高新区通安镇华金路225号(72)发明人乔金彪(74)专利代理机构苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)32246代理人潘志渊(51)Int.Cl.B24B37/10(2012.01)B24B37/30(2012.01)B24B37/34(2012.01)B24B55/06(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图6页(54)发明名称一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机(57)摘要本发明涉及一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机，属于晶圆研磨技术领域，一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机，包括机体、旋转安装于机体内的研磨头以及安装于研磨头上方的研磨垫，通过在研磨头的两侧设置用于对晶圆进行固定的定位机构，易于将晶圆定位于研磨头上，而在机体内嵌设安装第一粉尘传感器以及在集尘机构上安装第二粉尘传感器，在研磨的过程中实时对所研磨产生的粉尘颗粒浓度进行检测，监测研磨环境的研磨形态变化，当检测到的颗粒浓度大于一定值时，研磨垫与晶圆端面相脱离，此时通过吸附机构对机体内的粉尘颗粒进行吸附，有效避免因研磨面存留大量粉尘颗粒而造成不同的压靠力及磨擦力，且也不会因粉尘颗粒过多而刮伤晶圆。CN111266992ACN111266992A权利要求书1/1页1.一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,包括机体（1）、旋转安装于机体（1）内的研磨头（2）以及安装于研磨头（2）上方的研磨垫（10），其特征在于：所述机体（1）内固定安装有对研磨头（2）进行承托的支撑盘（3），所述机体（1）的底端固定安装有电机（4），所述电机（4）的驱动端贯穿机体（1）的底端并通过转动轴（5）贯穿支撑盘（3）固定连接于研磨头（2）的底端中部，所述研磨头（2）的底端旋转于支撑盘（3）的上端，所述研磨头（2）的上端两侧均设有晶圆定位机构；所述机体（1）的一侧通过竖板固定安装有电动滑轨（6），所述电动滑轨（6）通过电动滑块（7）固定连接有固定架（8），所述研磨垫（10）固定连接于固定架（8）的底端，所述支撑盘（3）的外侧壁上开设有一对贯穿腔（302），一对所述贯穿腔（302）之间设有一组安装腔，所述安装腔内安装有第一粉尘传感器（11），所述机体（1）靠近底端的内部安装有集尘机构，所述集尘机构的外端导入至机体（1）的外部，且集尘机构上安装有第二粉尘传感器（15）。2.根据权利要求1所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机，其特征在于：所述转动轴（5）通过轴承（12）与支撑盘（3）的内壁旋转安装，所述研磨头（2）的下端两侧均固定连接有导向杆，所述支撑盘（3）的上端开设有与导向杆相匹配的导向腔（301）。3.根据权利要求2所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机，其特征在于：所述晶圆定位机构包括固定连接于研磨头（2）外端侧壁上的弧形定位盘（201），所述弧形定位盘（201）上固定吸附有限位盘（202），所述限位盘（202）的前端固定连接有弧形限位套（203）。4.根据权利要求3所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述弧形定位盘（201）的上端侧壁上安装有电磁铁，所述限位盘（202）的底端固定安装有磁吸块，且限位盘（202）为弧形L状结构。5.根据权利要求1所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述固定架（8）的底端固定连接有升降台（9），所述升降台（9）固定连接于研磨垫（10）的上端，所述升降台（9）的上端两侧均通过牵引索固定连接于固定架（8）的底部两侧。6.根据权利要求5所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述机体（1）靠近顶端的侧壁上固定连接有环形板，所述环形板上固定贴附有与升降台（9）位置对应的缓冲垫（17）。7.根据权利要求1所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述集尘机构包括固定连接于机体（1）内部的集尘罩（13），所述集尘罩（13）位于支撑盘（3）的下方，所述集尘罩（13）的底端部固定连接有排气管（14），所述排气管（14）的外端贯穿至机体（1）的外端，所述机体（1）的外端固定安装有连接于排气管（14）上的抽风机（16）。8.根据权利要求7所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述集尘罩（13）为锥形结构，所述第二粉尘传感器（15）固定安装于排气管（14）的上端部。9.根据权利要求8所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述集尘罩（13）上开设有用于转动轴（5）贯穿的中空腔，所述中空腔的内壁包覆有与转动轴（5）旋