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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112259490A(43)申请公布日2021.01.22(21)申请号202011087847.XC04B35/48(2006.01)(22)申请日2020.10.12C04B35/565(2006.01)C04B35/58(2006.01)(71)申请人北京巨瓷科技有限公司C04B35/581(2006.01)地址101300北京市顺义区北小营镇顺木C04B35/584(2006.01)路2号C04B35/622(2006.01)(72)发明人张巨先(74)专利代理机构北京思海天达知识产权代理有限公司11203代理人张立改(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)H01L21/67(2006.01)C04B35/10(2006.01)C04B35/443(2006.01)C04B35/46(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称具有加热功能的静电吸盘及其制备方法(57)摘要具有加热功能的静电吸盘及其制备方法,涉及半导体和材料科学领域。包括上陶瓷基底层,静电吸盘电极层,中间陶瓷层,加热电极层;和下陶瓷基底层。其中,静电吸盘电极层位于上陶瓷基底层和中间陶瓷层之间,加热电极层位于中间陶瓷层和下陶瓷基底层之间,上陶瓷基底层、中间陶瓷层和下陶瓷基底层经烧结成一体把静电吸盘电极层和加热电极层基本上整体封装起来,仅保留用以为静电吸盘电极层和加热电极层提供电连接的连接触点,其中所述具有加热功能的静电吸盘除静电吸盘电极层和加热电极层及其电连接结构之外为全陶瓷结构。CN112259490ACN112259490A权利要求书1/2页1.一种具有加热功能的静电吸盘,其特征在于,包括上陶瓷基底层、静电吸盘电极层、中间陶瓷层、加热电极层和下陶瓷基底层,其中,静电吸盘电极层位于上陶瓷基底层和中间陶瓷层之间,加热电极层位于中间陶瓷层和下陶瓷基底层之间,上陶瓷基底层、中间陶瓷层和下陶瓷基底层经烧结成一体把静电吸盘电极层和加热电极层基本上整体封装起来,同时设有空隙用以为静电吸盘电极层和加热电极层提供电连接的连接触点,其中所述具有加热功能的静电吸盘除静电吸盘电极层和加热电极层及其电连接结构之外为全陶瓷结构。2.权利要求1所述的一种具有加热功能的静电吸盘的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一个静电吸盘三明治结构,所述静电吸盘三明治结构包括第一介质层、静电吸盘电极层和第二介质层,所述静电吸盘电极层位于所述第一介质层和第二介质层之间;提供一个加热盘三明治结构,所述加热盘三明治结构包括第三介质层、加热电极层和第四介质层,所述加热电极层位于所述第三介质层和第四介质层之间;将所述加热盘三明治结构与静电吸盘三明治结构依次放入模具加压烧结,得到所述具有加热功能的静电吸盘,其中,所述第二介质层与第三介质层相互之间面接触并经加压烧结形成一体化陶瓷结构,其中所述经加压烧结成一体的第二介质层和第三介质层形成所述的中间陶瓷层,经加压烧结第一介质层形成所述上陶瓷基底层,第四介质层形成所述下陶瓷基底层。3.权利要求1所述的一种具有加热功能的静电吸盘的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一个静电吸盘三明治结构,所述静电吸盘三明治结构包括第一介质层、静电吸盘电极层和第二介质层,所述静电吸盘电极层位于所述第一介质层和第二介质层之间;提供一个加热盘三明治结构,所述加热盘三明治结构包括第三介质层、加热电极层和第四介质层,所述加热电极层位于所述第三介质层和第四介质层之间;提供一个中间介质层;将所述加热盘三明治结构、所述中间介质层与静电吸盘三明治结构依次放入模具加压烧结,得到所述具有加热功能的静电吸盘,其中,所述中间介质层位于所述第二介质层和第三介质层之间并分别与第二介质层和第三介质层面接触,并经加压烧结与第二介质层和第三介质层形成一体化陶瓷结构,其中所述经加压烧结成一体的第二介质层、中间介质层和第三介质层形成所述的中间陶瓷层,经加压烧结第一介质层形成所述上陶瓷基底层,第四介质层形成所述下陶瓷基底层。4.权利要求1所述的一种具有加热功能的静电吸盘的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一个第一介质层,提供一个第二介质层,提供一个中间介质层,所述中间介质层的上表面形成有一层静电吸盘电极层,所述中间介质层的下表面形成有一层加热电极层,将所述第一介质层,上下表面分别形成有静电吸盘电极层和加热电极层的中间介质层和第二介质层依次放入模具加压烧结,得到所述具有加热功能的静电吸盘,其中,所述中间介质层经加压烧结形成所述的中间陶瓷层,经加压烧结所述第一介质层形成所述上陶瓷基底层,所述第二介质层形成所述下陶瓷基底层。5.按照权利要求2-3任一项所述的一种具有加热功能的静电吸盘的制备方法,其