流量控制方法以及流量控制装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112272809A(43)申请公布日2021.01.26(21)申请号201980032448.2(74)专利代理机构北京五洲洋和知识产权代理(22)申请日2019.06.19事务所(普通合伙)11387代理人刘春成刘春燕(30)优先权数据2018-1207192018.06.26JP(51)Int.Cl.G05D7/06(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2020.11.13(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2019/0243232019.06.19(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/004183JA2020.01.02(71)申请人株式会社富士金地址日本国大阪府(72)发明人平田薰小川慎也杉田胜幸西野功二池田信一权利要求书3页说明书11页附图3页(54)发明名称流量控制方法以及流量控制装置(57)摘要本发明提供一种使用流量控制装置(100)进行的在流量上升时的流量控制方法，流量控制装置(100)具备：设置于流路第一控制阀(6)；设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)；和对第一控制阀的下游侧且第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)，流量控制方法包含：(a)在将第二控制阀关闭的状态下，使用压力传感器求出在第一控制阀的下游残留的压力的步骤；和(b)通过基于压力传感器的输出调整第二控制阀的开度，对在第一控制阀下游残留的压力进行控制，在第二控制阀的下游侧以第一流量流动流体的步骤。CN112272809ACN112272809A权利要求书1/3页1.一种流量控制方法，其特征在于，使用流量控制装置，并在将流量从流量零上升到第一流量时进行，所述流量控制装置具备：第一控制阀，所述第一控制阀设置于流路；第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述第一控制阀的下游侧；和压力传感器，所述压力传感器对所述第一控制阀的下游侧且所述第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定，所述流量控制方法包含：步骤(a)，所述步骤(a)是在将所述第二控制阀关闭的状态下，基于所述压力传感器的输出求出在所述第一控制阀的下游残留的压力；和步骤(b)，所述步骤(b)是通过基于所述压力传感器的输出调整所述第二控制阀的开度，对在所述第一控制阀下游残留的压力进行控制，在所述第二控制阀的下游侧以所述第一流量流动流体。2.根据权利要求1所述的流量控制方法，其特征在于，在所述步骤(a)中，在将所述第一控制阀和所述第二控制阀的双方关闭的状态下求出所述残留的压力。3.根据权利要求2所述的流量控制方法，其特征在于，还包含如下步骤：在所述步骤(a)中，在基于所述压力传感器的输出求出的压力比相当于所述第一流量的压力低的情况下，到在所述第一控制阀的下游残留的压力变得比相当于所述第一流量的压力高为止打开所述第一控制阀，在超过相当于所述第一流量的压力的时间点关闭所述第一控制阀。4.根据权利要求1所述的流量控制方法，其特征在于，在所述步骤(a)中，所述第一控制阀形成为比基于所述压力传感器的输出将所述第一控制阀的开度控制为所述第一流量时的开度小的开度，当基于所述压力传感器的输出求出的压力为阈值以上时，打开所述第二控制阀而进行所述步骤(b)。5.根据权利要求1至4中任一项所述的流量控制方法，其特征在于，在所述步骤(b)中，在将α设为比例常数，将ΔP1/Δt设为所述压力传感器输出的上游压力的变化ΔP1与所述上游压力的变化ΔP1所需要的时间Δt之比即压力变化率，将V设为所述第一控制阀与所述第二控制阀之间的内容积时，以由Q＝α·(ΔP1/Δt)·V表示的减量流量Q与所述第一流量一致的方式，基于所述压力传感器输出的信号，对所述第二控制阀的开度进行控制。6.根据权利要求1至5中任一项所述的流量控制方法，其特征在于，还包含步骤(c)，所述步骤(c)是在进行了所述步骤(b)之后，在所述压力传感器的输出降低到规定值的时间点，基于所述压力传感器的输出对所述第一控制阀的开度进行控制而以所述第一流量在下游流动流体。7.一种流量控制装置，其特征在于，具备：第一控制阀，所述第一控制阀设置于流路；第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述第一控制阀的下游侧；压力传感器，所述压力传感器对所述第一控制阀的下游侧且所述第二控制阀的上游侧2CN112272809A权利要求书2/3页的流体压力进行测定；和控制电路，所述控制电路对所述第一控制阀以及所述第二控制阀的动作进行控制，并且构成为：通过基于所述压力传感器输出的信号对所述第一控制阀以及第二控制阀进行控制，从而对流量进行控制，在将流量从流量零上升至第一流量时，所述控制电路执行：步骤(a)，所述步骤(a)是在将所述第二控制阀关闭的状态下，基于所述压力传感器的输出求出在第一控制阀的