流量控制装置以及使用流量控制装置的异常检测方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108369425A(43)申请公布日2018.08.03(21)申请号201680064955.0(74)专利代理机构北京五洲洋和知识产权代理(22)申请日2016.12.15事务所(普通合伙)11387代理人刘春成刘春燕(30)优先权数据2015-2535772015.12.25JP(51)Int.Cl.G05D7/06(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G01F1/42(2006.01)2018.05.07G05B23/02(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2016/0051432016.12.15(87)PCT国际申请的公布数据WO2017/110066JA2017.06.29(71)申请人株式会社富士金地址日本国大阪府(72)发明人永濑正明平田薰泽田洋平西野功二池田信一权利要求书2页说明书8页附图3页(54)发明名称流量控制装置以及使用流量控制装置的异常检测方法(57)摘要本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。CN108369425ACN108369425A权利要求书1/2页1.一种异常检测方法，所述异常检测方法使用流量控制装置和下游阀，其中，所述流量控制装置具备节流部、设置于所述节流部的上游侧的控制阀、设置于所述节流部的上游侧且所述控制阀的下游侧的第一压力传感器、和设置于所述节流部的下游侧的第二压力传感器，所述下游阀设置于所述第二压力传感器的下游侧，所述异常检测方法包含以下步骤：使所述控制阀以及所述下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤；将所述控制阀以及所述下游阀维持着关闭状态而利用所述第一压力传感器以及所述第二压力传感器来测定上游压力以及下游压力的步骤；和下述的步骤(a)以及步骤(b)中的至少一步骤：(a)抽出所述上游压力与所述下游压力之差达到规定值的时刻或低于所述规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤，(b)抽出从使所述控制阀以及所述下游阀从打开状态变化为关闭状态的时刻至所述上游压力与所述下游压力之差达到规定值的时刻或低于所述规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤，其中，基于在所述步骤(a)或所述步骤(b)中任一步骤所获得的数据与作为所述数据的各自基准的值的比较而判断异常的有无。2.根据权利要求1所述的异常检测方法，其特征在于，包含抽出所述上游收敛压力以及所述下游收敛压力的步骤(a)和抽出所述收敛时间的步骤(b)两者，基于在所述步骤(a)以及所述步骤(b)所获得的两者的数据与作为所述基准的各个值的比较而判断异常的有无。3.根据权利要求1或2所述的异常检测方法，其特征在于，相对于所述上游收敛压力以及所述下游收敛压力，使基准压力为作为所述基准的值，相对于所述收敛时间，使基准时间为作为所述基准的值。4.根据权利要求3所述的异常检测方法，其特征在于，所述基准压力为预先测定的正常状态下的收敛压力，所述基准时间为预先测定的正常状态下的收敛时间。5.根据权利要求3或4所述的异常检测方法，其特征在于，所述异常检测方法进一步包含以下步骤：使用所述第一压力传感器以及所述第二压力传感器来测定关闭所述控制阀以及所述下游阀前的打开状态下的所述上游压力以及所述下游压力的步骤；和基于所测定的所述打开状态下的所述上游压力以及所述下游压力而决定所述基准压力以及所述基准时间的步骤。6.根据权利要求5所述的异常检测方法，其特征在于，所述异常检测方法包含以下步骤：预先准备表示所述打开状态下的所述上游压力以及所述下游压力与所述基准时间以及所述基准压力的关系的表的步骤；和根据所述表决定所述基准压力以及所述基准时间的步骤。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的异常检测方法，其特征在于，所述上游压力与下游压力差的规定值被设定为0，在所述上游压力与所述下游压力变得相同的时刻，抽出所述上游收敛压力、所述下游收敛压力或所述收敛时间。2CN108369425A权利要求书2/2页8.根据权利要求1至7中的任一项所述的异常检测方法，其