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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112322205A(43)申请公布日2021.02.05(21)申请号202011132759.7(22)申请日2020.10.21(71)申请人宁波东旭成新材料科技有限公司地址315321浙江省宁波市慈溪市逍林镇逍林大道296号(72)发明人罗培栋王立超(74)专利代理机构慈溪方升专利代理事务所(普通合伙)33292代理人严晓(51)Int.Cl.C09J7/25(2018.01)C09J7/50(2018.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种热减粘保护膜的制备方法(57)摘要一种热减粘保护膜的制备方法,该制备方法包括如下步骤:S1、将PET原料通过挤出机挤出制成PET膜;S2、在PET膜的一面涂覆包含有热塑性膨胀微球的紫外光固化树脂;S3、用模压辊在紫外光固化树脂层上压出花纹,并在紫外光下固化形成基膜;S4、对紫外光固化树脂层表面进行电晕处理或等离子体处理;S5、在紫外光固化树脂层的花纹中填充热减粘胶,热减粘胶干燥后在热减粘胶上附上离型膜。本发明制备的热减粘保护膜,在满足粘结牢固的同时,在一定温度下可以实现轻松剥离且无残留。CN112322205ACN112322205A权利要求书1/1页1.一种热减粘保护膜的制备方法,其特征在于该制备方法包括如下步骤:S1、将PET原料通过挤出机挤出制成PET膜;S2、在PET膜的一面涂覆包含有热塑性膨胀微球的紫外光固化树脂;S3、用模压辊在紫外光固化树脂层上压出花纹,并在紫外光下固化形成基膜;S4、对紫外光固化树脂层表面进行电晕处理或等离子体处理;S5、在紫外光固化树脂层的花纹中填充热减粘胶,热减粘胶干燥后在热减粘胶上附上离型膜。2.如权利要求1所述的热减粘保护膜的制备方法,其特征在于:在S3中,模压辊在紫外光固化树脂层上压出矩阵排列的正四棱锥,相邻的正四棱锥的底面相衔接。3.如权利要求2所述的热减粘保护膜的制备方法,其特征在于:所述四棱锥的底面与所述的PET膜接触,所述四棱锥的顶点与所述的离型膜接触。4.如权利要求3所述的热减粘保护膜的制备方法,其特征在于:所述PET膜的厚度为30-50μm,所述紫外光固化树脂层以及热减粘胶层的厚度为40-60μm,所述离型膜的厚度为5-10μm。5.如权利要求4所述的热减粘保护膜的制备方法,其特征在于:所述热减粘层的粘度为1000-2500cps,剥离强度为500-1200g/inch。6.如权利要求1-5之一所述的热减粘保护膜的制备方法,其特征在于:所述热塑性膨胀微球为核壳结构热塑性膨胀微球,外壳的材质为热塑性丙烯酸酯聚合物,内核为烷烃类气体组成的微球颗粒,所述热塑性膨胀微球的粒径为10-25μm。7.如权利要求1-5之一所述的热减粘保护膜的制备方法,其特征在于:所述热塑性膨胀微球为核壳结构热塑性膨胀微球,外壳的材质为热塑性丙烯酸酯聚合物,内核为烷烃类气体组成的微球颗粒,所述热塑性膨胀微球的粒径为10-25μm。2CN112322205A说明书1/2页一种热减粘保护膜的制备方法技术领域[0001]本发明涉及一种热减粘保护膜的制备方法。背景技术[0002]减粘保护膜分为热减粘保护膜和UV减粘保护膜,目前减粘保护膜主要用于晶圆切割制程的保护与后期捡取工艺,也有向高性能钢化玻璃(如手机玻璃)制程的保护和手机金属后盖的镭射雕刻工艺保护上转移的趋势。[0003]热减粘保护膜用作晶圆切割胶带,在晶圆切割时需要粘住晶圆,防止飞片现象的发生,当晶圆切割完成后,又需要降低剥离强度,便于拾取。[0004]热减粘胶带在实际应用过程中,会出现以下问题:(1).加热后,压敏胶和基膜的粘结强度同样下降,导致压敏胶与基膜的脱离造成残胶;(2).晶圆拾取前后剥离强度的平衡,要么是拾取前剥离强度不够,要么就是拾取时剥离难,易残胶。发明内容[0005]为了克服现有热减粘胶带的上述不足,本发明提供一种满足粘结牢固的同时,在一定温度下可以实现轻松剥离且无残留的热减粘保护膜的制备方法。[0006]本发明解决其技术问题的技术方案是:一种热减粘保护膜的制备方法,其特征在于该制备方法包括如下步骤:S1、将PET原料通过挤出机挤出制成PET膜;S2、在PET膜的一面涂覆包含有热塑性膨胀微球的紫外光固化树脂;S3、用模压辊在紫外光固化树脂层上压出花纹,并在紫外光下固化形成基膜;S4、对紫外光固化树脂层表面进行电晕处理或等离子体处理;S5、在紫外光固化树脂层的花纹中填充热减粘胶,热减粘胶干燥后在热减粘胶上附上离型膜。[0007]优选的,在S3中,模压辊在紫外光固化树脂层上压出矩阵排列的正四棱锥,相邻的正四棱锥的底面相衔接。[0008]优选的,所述四棱锥的底面与所述的PET膜接触,所述四棱锥的顶点与所