一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112829096A(43)申请公布日2021.05.25(21)申请号202011617273.2(22)申请日2020.12.30(71)申请人镇江耐丝新型材料有限公司地址212200江苏省镇江市镇江新区光伏产业园大山路1号(72)发明人李晓军张释伟盛荣生曹伟君(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204代理人方亚曼(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)C23F1/34(2006.01)B05D3/02(2006.01)B05D7/20(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法，将带黄铜镀层的普通切割钢丝经过褪镀液进行褪镀，褪镀处理完成后使用清水对切割钢丝表面进行冲洗；冲洗完成后，在切割钢丝表面涂覆防锈剂；然后烘干得到无金属镀层的切割钢丝。本发明的制备方法，褪镀处理效果好，无金属污染残留；降低了后续的处理难度和成本；且不含金属镀层的切割钢丝，力学性能与含有镀层的切割钢丝相当，但是不存在除Fe以外的金属，避免了晶圆切片过程中带入除Fe之外的金属，可以彻底解决晶圆生产中的Cu、Zn金属污染问题。CN112829096ACN112829096A权利要求书1/1页1.一种表面无黄铜镀层的切割钢丝，其特征在于为表面不含有黄铜镀层的切割钢丝。2.一种权利要求1所述的表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，其特征在于包括如下步骤：S1：将带金属镀层的普通切割钢丝经过褪镀液进行褪镀，处理温度为室温，处理时间为大于1秒；S2：褪镀处理完成后使用清水对切割钢丝表面进行冲洗1次以上；S3：冲洗完成后，在切割钢丝表面涂覆防锈剂；S4：烘干得到无金属镀层的切割钢丝。3.根据权利要求2所述的表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，其特征在于：所述褪3镀液的的制备方法如下：16g过硫酸铵(NH4)2S2O8与120mL密度为0.91g/cm的氨水NH3混合均匀后稀释到1L得所需褪镀液。4.根据权利要求2或3所述的表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，其特征在于：所述防锈剂具体为水基防锈剂。5.根据权利要求2所述的表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，其特征在于：所述防锈剂的涂覆方式为：切割钢丝从浸有防锈剂的海绵中经过，实现表面完全覆盖。6.根据权利要求2所述的表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，其特征在于：S4中烘干的温度为100℃～500℃。2CN112829096A说明书1/3页一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及切割钢丝的制备方法领域，尤其涉及一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法。背景技术[0002]半导体行业采用高纯度的单晶硅棒，用切割钢丝切片得到晶圆。晶圆对于金属污染的要求非常高，其中典型的12寸硅晶圆抛光片与外延片，要求表面金属残余量(Cu、Fe、Cr、Ni、Zn)低于1E10atoms/cm2。[0003]因此，要尽量减少在晶圆加工中带入金属，多带入一种金属，就会增加后续去除的工作。目前的切割钢丝，是表面带有镀层的钢丝，广泛采用的是黄铜镀层(黄铜是Cu/Zn合金)，在切片过程中，在硅片表面带入Cu、Zn金属，大大增加了处理的难度和成本。[0004]如何对有金属镀层的切割钢丝进行处理有效去除金属镀层值得研究。发明内容[0005]发明目的：为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明提出了一种表面无黄铜镀层的切割钢丝及其制备方法，完美解决切片过程中带来的Cu、Zn等金属污染问题。[0006]技术方案：为了解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案为：[0007]一种表面无黄铜镀层的切割钢丝，为表面不含有黄铜镀层的切割钢丝。[0008]一种表面无黄铜镀层的切割钢丝的制备方法，包括如下步骤：[0009]S1：将带金属镀层的普通切割钢丝经过褪镀液进行褪镀，处理温度为室温，处理时间为大于1秒；[0010]S2：褪镀处理完成后使用清水对切割钢丝表面进行冲洗1次以上；[0011]S3：冲洗完成后，在切割钢丝表面涂覆防锈剂；[0012]S4：烘干得到无金属镀层的切割钢丝。[0013]更进一步的，所述褪镀液的的制备方法如下：16g过硫酸铵(NH4)2S2O8与120mL密度为0.91g/cm3的氨水NH3混合均匀后稀释到1L的所需褪镀液。[0014]更进一步的，所述防锈剂具体为水基防锈剂。[0015]更进一步的，所述防锈剂的涂覆方式为：切割钢丝从浸有防锈剂的海绵中经过，实现表面完全覆盖。[0016]更进一步的，S4中烘干的温度为100℃～500℃。[0017]有益效果：本发明具有以下优点：[0018](1)制备