内容提供者
一种半导体晶圆清洗装置.pdf
2023-11-09
10金币
1.6MB
18页
St****12
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共18页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种半导体晶圆晶清洗装置.pdf
本发明公开了一种半导体晶圆晶清洗装置，包括支撑机构、伸缩固定机构、滑动配合机构、侧边固定机构，所述支撑机构内侧设置有所述滑动配合机构，所述滑动配合机构两侧设置有所述侧边固定机构，所述侧边固定机构内侧连接有清洗篮机构，所述滑动配合机构前端安装有所述伸缩固定机构。本发明利用滑动配合机构和清洗篮机构配合，能够快速配合连接配合阀和配合接头，从而利用清洗篮机构对半导体晶圆进行清洗，利用侧边固定机构配合清洗篮机构，从而在对清洗篮机构进行放置时保证稳定性，而后利用滑动配合机构与清洗篮机构连接时提供横向支撑力。
2023-05-28
10
702KB
一种半导体晶圆清洗装置.pdf
本发明公开了一种半导体晶圆清洗装置，属于半导体技术领域。一种半导体晶圆清洗装置，包括补液柜和清洗柜，补液柜连接于清洗柜顶部，清洗柜内部设置有夹装组件和清洗机构，清洗柜底壁连接有底板，底板和补液柜顶壁均开设有第一孔洞相连通，底板顶部连接有丝杆，丝杆设置有若干组，若干组丝杆外壁连接有升降板，转动组件连接于升降板内壁，清洗柜内壁连接有滑杆，滑杆外壁滑动连接有滑动块，夹装组件连接于滑动块外壁，夹装组件输出端连接有晶圆片；本发明非常适用于多组晶圆的清洗药液残留，并能有效防止在清洗时水雾飞溅重新附着在晶圆表面，有效增
2023-11-09
10
1.6MB
一种半导体圆晶清洗装置.pdf
本发明公开了一种半导体圆晶清洗装置，包括箱体，箱体的两侧设置有缸体，缸体的活塞杆上设置有衔接板，箱体上设置有条形孔，衔接板与条形孔的内壁滑动接触，衔接板上设置有第一内置孔，第一内置孔内滑动设置有支撑杆，支撑杆的下端固定安装有板条，板条上设置有第一半圆座，第一半圆座上铰接有第二半圆座，第一半圆座与第二半圆座之间包围有圆晶本体，第一半圆座与第二半圆座的张口位置通过锁扣连接。该半导体圆晶清洗装置，通过缸体能够推动板条上的多组半圆座进行升降移动，方便对圆晶本体的装配。
2023-05-29
10
538KB
一种半导体晶圆清洗装置.pdf
本发明涉及半导体晶圆工艺技术领域，具体是一种半导体晶圆清洗装置，包括框架、夹具、水箱和喷淋装置，框架左侧设置有电机，电机下侧设置有与框架轴承连接的丝杆，丝杆上设置有第一固定块，第一固定块前侧设置有夹具，丝杆下侧设置有固定板，固定板顶部左侧设置有水箱，水箱右侧设置有喷淋装置，本发明，通过设置齿轮和活动框，可以实现夹具的上下反复运动，利于加强对晶圆的清洗程度，通过设置电动导辊，可以实现晶圆旋转，利于加强清洗效果，通过设置喷淋装置，可以对晶圆进行喷淋冲洗，提高了晶圆的洁净度，同时，喷淋装置还实现了水资源的循环使
2023-08-29
10
320KB
清洗装置及半导体晶圆清洗设备.pdf
本申请涉及半导体清洗技术领域，尤其是涉及一种清洗装置及半导体晶圆清洗设备。该清洗装置包括支撑架、兆声清洗组件和驱动装置；支撑架上设置有支撑臂，兆声清洗组件位于支撑臂上，驱动装置用于驱动兆声清洗组件沿支撑臂的长度方向往复运动；支撑臂的长度方向与待清洁物的表面之间成角度设置，兆声清洗组件的运动起点与待清洁物的表面之间的垂直距离小于兆声清洗组件的运动终点与待清洁物的表面之间的垂直距离。本申请的清洗装置解决了兆声清洁设备在越靠近晶圆边缘的地方能量密度越低，清洗不彻底；而在靠近晶圆中心的地方声波能量集中，严重时会导
2023-06-01
10
542KB