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一种半导体圆晶清洗装置.pdf
2023-05-29
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本发明公开了一种半导体晶圆晶清洗装置，包括支撑机构、伸缩固定机构、滑动配合机构、侧边固定机构，所述支撑机构内侧设置有所述滑动配合机构，所述滑动配合机构两侧设置有所述侧边固定机构，所述侧边固定机构内侧连接有清洗篮机构，所述滑动配合机构前端安装有所述伸缩固定机构。本发明利用滑动配合机构和清洗篮机构配合，能够快速配合连接配合阀和配合接头，从而利用清洗篮机构对半导体晶圆进行清洗，利用侧边固定机构配合清洗篮机构，从而在对清洗篮机构进行放置时保证稳定性，而后利用滑动配合机构与清洗篮机构连接时提供横向支撑力。
2023-05-28
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2023-11-09
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本发明公开了一种半导体圆晶清洗装置，包括箱体，箱体的两侧设置有缸体，缸体的活塞杆上设置有衔接板，箱体上设置有条形孔，衔接板与条形孔的内壁滑动接触，衔接板上设置有第一内置孔，第一内置孔内滑动设置有支撑杆，支撑杆的下端固定安装有板条，板条上设置有第一半圆座，第一半圆座上铰接有第二半圆座，第一半圆座与第二半圆座之间包围有圆晶本体，第一半圆座与第二半圆座的张口位置通过锁扣连接。该半导体圆晶清洗装置，通过缸体能够推动板条上的多组半圆座进行升降移动，方便对圆晶本体的装配。
2023-05-29
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2023-06-01
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