一种芯片制造检测用的搬运装置及其搬运方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113972161A(43)申请公布日2022.01.25(21)申请号202111098214.3(22)申请日2021.09.18(71)申请人南京尚科得科技发展有限公司地址211100江苏省南京市麒麟科技创新园创研路266号人工智能产业园1号楼711室(72)发明人张春美李晨佳(74)专利代理机构南京泰普专利代理事务所(普通合伙)32360代理人方晓雯(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种芯片制造检测用的搬运装置及其搬运方法(57)摘要本发明公开了一种芯片制造检测用的搬运装置及其搬运方法，属于芯片制造检测技术领域。包括：移动机构，吸取机构，暂留机构以及定位机构；所述吸取机构与所述移动机构连接，包括若干组吸取部；所述暂留机构设于所述吸取机构下方，包括与所述吸取部数量相同且中空的暂留部；所述定位机构设于所述暂留部两侧。本发明中吸取部在当前待检测芯片在检测期间，吸取部无需等待其待被检测完毕才能吸取下一组待检测芯片，吸取部将当前待检测芯片搬运放置在检测区后即可吸取下一组待检测芯片，减少了吸取部等待时间以及空耗时间，进而减少整体检测时间，提高了检测效率。CN113972161ACN113972161A权利要求书1/2页1.一种芯片制造检测用的搬运装置，包括移动机构，其特征在于，还包括：吸取机构，传动连接于所述移动机构；所述吸取机构包括：若干组吸取部，所述吸取部至少包括第一工作状态和第二工作状态；暂留机构，设于所述吸取机构下方；所述暂留机构包括：数量等同于吸取部的暂留部，其中所述暂留部为中空结构；定位机构，设于所述暂留部的两侧；所述定位机构被设置用于定位芯片或引导芯片降落；其中，所述第一工作状态为所述吸取部部分延伸至所述暂留机构内；所述第二工作状态为所述吸取部与暂留机构之间形成错位空间；使用时，所述吸取机构被设置用于吸取当前待检测芯片和新的待检测芯片；在当前待检测芯片被检测期间，所述吸取机构被设置吸取新的待检测芯片，所述吸取部处于第一工作状态；新的待检测芯片被搬运至检测区侧方时，所述吸取部处于第二工作状态。2.根据权利要求1所述的一种芯片制造检测用的搬运装置，其特征在于：所述吸取部处于第一工作状态时，所述吸取部被设置吸取待检测芯片；所述吸取部处于第二工作状态时，所述吸取部被设置吸取检测完毕的芯片；所述吸取部处于第一工作状态或第二工作状态时，待检测芯片被夹持在所述暂留部与定位机构之间。3.根据权利要求1所述的一种芯片制造检测用的搬运装置，其特征在于：所述吸取机构包括：与所述移动机构连接的调节件，与所述调节件连接的安装架，设于所述安装架内表面的若干组吸取轴，以及设于所述吸取轴端部的吸取部。4.根据权利要求1所述的一种芯片制造检测用的搬运装置，其特征在于：所述暂留机构包括：分别设于所述吸取机构两侧的安装板，设于所述安装板之间且开设有若干组中空通道的暂留板，以及设于所述中空通道下方的暂留部。5.根据权利要求1所述的一种芯片制造检测用的搬运装置，其特征在于：所述定位机构包括：与所述暂留部传动连接的直杆，与所述直杆传动连接的转轴，以及与所述转轴连接的定位部。6.根据权利要求5所述的一种芯片制造检测用的搬运装置，其特征在于：所述定位部被设置包括定位状态和引导状态；所述定位状态为所述定位部用于支撑定位芯片；所述引导状态为所述定位部用于引导芯片降落。7.一种使用权利要求1至6中任意一项所述的芯片制造检测用的搬运装置的搬运方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、吸取机构初次吸取当前待检测芯片至暂留部下方，定位机构对当前待检测芯片定位，所述吸取机构运动并将当前待检测芯片搬运至检测区；步骤二、在当前待检测芯片被检测期间，所述吸取机构吸取新的待检测芯片至所述暂留部构下方，所述定位机构对新的待检测芯片定位，所述吸取机构运动并将新的待检测芯片搬运至检测区侧方；步骤三、吸取部移动，与所述暂留部发生位置错位，所述吸取部吸取已被检测完毕的当前待检测芯片；检测区空出后，将所述暂留部与定位机构之间的新的待检测芯片放置在检测区；2CN113972161A权利要求书2/2页步骤四、重复步骤二和步骤三直至将所有待检测芯片检测完毕。8.根据权利要求7所述的一种芯片制造检测用的搬运装置的搬运方法，其特征在于，包括以下步骤：所述步骤三还包括：所述吸取部吸取已被检测完毕的当前待检测芯片，并将其搬运放置在传送区后，所述吸取部处于第一工作状态，对新的待检测芯片重新吸取；随后将新的待检测芯片搬运并放置在检测区。3CN113972161A说明书1/5页一种芯片制造检测用的搬运装置及其搬运方法技术领域[000