一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115009620A(43)申请公布日2022.09.06(21)申请号202210805240.3(22)申请日2022.07.08(71)申请人浙江东氟塑料科技有限公司地址324000浙江省衢州市高新技术产业园区华荫北路6号(72)发明人何正纲李忠发汪漠(74)专利代理机构杭州裕阳联合专利代理有限公司33289专利代理师吴文杰(51)Int.Cl.B65B55/24(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图1页(54)发明名称一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法(57)摘要本发明公开了一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，包括以下步骤，一次水洗、二次水洗、一次酸洗、二次酸洗、金属离子分析、三次水洗、四次水洗以及pH值分析，最后在分析后合格的包装容器充入保护气体后，对包装容器进行包装；本发明通过一次水洗和二次水洗，对包装容器表面灰尘以及微小金属颗粒等杂质进行清理；通过一次酸洗和二次酸洗，对包装容器表面未除去的金属氧化物和细小金属颗粒进行清理，防止包装容器表面还残留有会与氢氟酸反应的物质，不会影响超高纯氢氟酸的浓度；再通过三次水洗和四次水洗对包装容器表面残留的氢氟酸进行清洗，从源头上减轻了超高纯氢氟酸被二次污染的几率，保证了包装容器清洗等级和超高纯氢氟酸的质量。CN115009620ACN115009620A权利要求书1/1页1.一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤S1：一次水洗，用清水清洗包装容器，并在清洗完成后完全将清水排出；步骤S2：二次水洗，在包装容器内注入占包装容器容积a％的纯水，且对包装容器进行正反旋转t1后排尽；步骤S3：一次酸洗，在包装容器内注入占包装容器容积b％的氢氟酸，且对包装容器进行旋转t2后排尽；步骤S4：二次酸洗，在包装容器内注入占包装容器容积c％的氢氟酸，对包装容器清洗后排尽；步骤S5：金属离子分析，从步骤S4中排出的液体中取样，对金属离子和0.1μm颗粒物进行检测；当取样液体的检测结果同时满足金属离子的含量不大于10ppt以及0.1μm颗粒物含量不大于10pcs/ml时，进入步骤S6；反之则重复步骤S4～S5；步骤S6：三次水洗，在包装容器内注入占包装容器容积d％的纯水，且对包装容器进行旋转t3后排尽；步骤S7：四次水洗，在包装容器内注入占包装容器容积e％的纯水，对包装容器清洗后排尽；步骤S8：pH值分析，从步骤S7中排出的液体中取样，对pH值进行检测；当取样液体的检测结果满足pH＝6～7时，进入步骤S9；反之则重复步骤S6～S8；步骤S9：在包装容器内充入保护气体后，对包装容器进行包装。2.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S1中，将清洗后的水排出后，再向包装容器中注满纯水并加压静置；静置一段时间后将纯水排出再进入步骤S2。3.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S2中，a＝40～50，t1＝0.5～3小时；且在进入步骤S3之前，先对步骤S2重复进行2～6次。4.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S3中，b＝20～40，t2＝12～48小时；且在进入步骤S4之前，先对步骤S3重复进行5～12次。5.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S4中，c＝20～40；且在首次进入步骤S5之前，先对步骤S4重复进行2～6次。6.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S6中，d＝40～50，t3＝0.5～3小时。7.根据权利要求1所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S7中，e＝50～60；且在进入步骤S8之前，先对步骤S3重复进行4～8次。8.根据权利要求1～7中任一项所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：步骤S3中所用的氢氟酸浓度为1％～10％；步骤S4中所用的氢氟酸浓度为30％～50％。9.根据权利要求8所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：步骤S4中排出的废水经过处理后用于步骤S3中氢氟酸的调制。10.根据权利要求1或9所述的用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法，其特征在于：在步骤S2中，注入包装容器内的纯水水温为60～90℃。2CN115009620A说明书1/6页一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法技术领域[0001]本发明涉及包装容器技术领域，具体涉及一种用于超高纯氢氟酸包装容器的清洗方法。背景技术[0002]随着光伏产业的光伏电池制造、微电子产业的芯片制造和玻璃减薄产业的液晶显示器件制造的国际产业向我国的转移，这为国内电子级氢氟酸的发展提供了极大空