

一种基板涂布机的管路排泡方法.pdf
书生****66
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一种基板涂布机的管路排泡方法.pdf
本发明属于基板涂布机的管路排泡的技术领域,提供一种基板涂布机的管路排泡方法,包括以下步骤:步骤一、拆卸涂布机管路,步骤二、选取排泡设备,步骤三、选取排泡原料,步骤四、将设备进行连接,步骤五、启动设备,进行排泡,步骤六、重复上述排泡过程,所述拆卸涂布机管路,通过使用辅助工具,将涂布机上所用管路进行拆卸,所述选取排泡设备,根据排泡需求选取所需设备,且所需设备为鼓风机、注射泵以及震动泵,该发明,通过使用光阻剂,使得光阻剂在涂布机的管路内持续流出,并同时使用震动泵工作,使得涂布机的管路内壁残留的气泡被光阻剂顶出,
用于涂布基板的方法及涂布机.pdf
提供一种用于利用至少一个阴极组件(10)涂布基板(100)的方法,至少一个阴极组件(10)具有三个或更多个可旋转靶(20),三个或更多个可旋转靶(20)各包括位于其中的磁体组件(25)。所述方法包括:旋转磁体组件(25)至相对于平面(22)的多个不同的角位置,平面(22)从基板(100)垂直地延伸至三个或更多个可旋转靶(20)的相应可旋转靶的轴(21);以及根据储存于数据库或存储器中的函数改变下述的至少一者:提供至三个或更多个可旋转靶(20)的功率、磁体组件(25)的停留时间、以及磁体组件(25)的持续地
用于涂布基板的方法及涂布机.pdf
提供一种用于利用至少一个阴极组件(10)涂布基板(100)的方法,至少一个阴极组件(10)具有三个或更多个可旋转靶(20),三个或更多个可旋转靶(20)各包括位于其中的磁体组件(25)。所述方法包括:旋转磁体组件(25)至相对于平面(22)的多个不同的角位置,平面(22)从基板(100)垂直地延伸至三个或更多个可旋转靶(20)的相应可旋转靶的轴(21);以及根据储存于数据库或存储器中的函数改变下述的至少一者:提供至三个或更多个可旋转靶(20)的功率、磁体组件(25)的停留时间、以及磁体组件(25)的持续地
一种消泡型涂布机.pdf
本发明公开了一种消泡型涂布机,其包括胶料存储槽、刮刀和被胶轮,所述胶料存储槽内设有一隔板,所述隔板的一端连接于所述胶料存储槽的底部,另一端与所述胶料存储槽的顶部之间形成消泡通道,且所述隔板将所述胶料存储槽内腔分成涂布腔和配料腔;所述配料腔与所述消泡通道之间设有一细孔筛网,所述消泡通道内设有抽气泵;所述涂布腔的底部和配料腔的底部连接有回流通道,所述回流通道内设有液体泵,所述液体泵用于将胶液从所述涂布腔抽回到所述配料腔,且使胶液从所述配料腔内的胶液经过所述细孔筛网流入所述涂布腔。本发明的消泡型涂布机能够大大减
一种消泡型涂布机.pdf
本发明公开了一种消泡型涂布机,其包括胶料存储槽、刮刀、被胶轮、配料槽和真空泵;所述配料槽底部与所述胶料存储槽底面之间连接有一供胶管道,所述配料槽腔内与所述胶料存储槽侧面之间连接有一回流管道,回流管道与所述配料槽连接的一端设有细孔筛网;所述配料槽内还设有第一液位传感器,所述第一液位传感器设于所述细孔筛网的下方,所述第一液位传感器与供胶管道中的液体泵电性连接。本发明的消泡型涂布机能够大大减少胶液混入的气体。