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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115406592A(43)申请公布日2022.11.29(21)申请号202211015821.3(22)申请日2022.08.23(71)申请人安徽皖仪科技股份有限公司地址230088安徽省合肥市高新区文曲路8号(72)发明人王国东王超(51)Int.Cl.G01M3/20(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种氦检漏回收系统及回收方法(57)摘要本发明公开了一种氦检漏回收系统及氦检漏回收方法,氦检漏回收系统包括低压罐、高压罐及压缩机,所述压缩机位于低压罐的内部,所述低压罐具有气管接口,压缩机与高压罐之间通过气管连接,气管接口与气管之间密封处理。在回收氦气时,首先打开位于低压罐前级的抽气泵,将氦质谱检漏仪内残留的氦气抽至低压罐内;其次打开压缩机,使压缩机在低压罐的内部将氦气输送至高压罐内。本发明将压缩机放置到低压罐的内部,当压缩机存在漏气问题时,泄露的气体则会进入低压罐内,与低压罐内的气体混合,而且由于泄露的气体浓度本身就是从低压罐内抽取,因而不会造成气体浓度下降的情况。CN115406592ACN115406592A权利要求书1/1页1.一种氦检漏回收系统,包括低压罐、高压罐及压缩机,其特征在于,所述压缩机位于低压罐的内部,所述低压罐具有气管接口,压缩机与高压罐之间通过气管连接,气管接口与气管之间密封处理。2.根据权利要求1所述的氦检漏回收系统,其特征在于,所述压缩机的进气口处于开放状态。3.一种氦检漏回收方法,其特征在于,使用如权利要求1或2所述的氦检漏回收系统进行氦回收,其回收步骤为:打开位于低压罐前级的抽气泵,将氦质谱检漏仪内残留的氦气抽至低压罐内;打开压缩机,使压缩机在低压罐的内部将氦气输送至高压罐内。2CN115406592A说明书1/2页一种氦检漏回收系统及回收方法技术领域[0001]本发明涉及一种氦检漏回收技术,特别涉及一种氦检漏回收系统及回收方法。背景技术[0002]在氦质谱检漏中,由于氦气价格较贵,通常的氦检漏系统都会带回收系统,而回收系统一般都是低压罐、压缩机、高压罐等组成。[0003]如图1所示,目前的低压罐10、压缩机30和高压罐20之间的连接关系是,低压罐10的出气口通过气管连接压缩机的进气口,而压缩机30的出气口则通过另一气管连接高压罐20。采用这种连接方式具有以下缺陷:压缩机一般都会有点漏气造成工作时候会把空气吸入,而压缩机是暴露在大气环境中的,当压缩机将低压罐内的氦气压缩到高压罐内时,会造成高压罐内有用的气体浓度下降。发明内容[0004]为了解决上述现有技术中的不足,本发明的目的在于提供一种氦检漏回收系统及回收方法,该回收系统能够克服压缩机漏气造成高压罐内的气体浓度下降的现象。[0005]本发明解决其技术问题所采用的技术方案为:一种氦检漏回收系统,包括低压罐、高压罐及压缩机,所述压缩机位于低压罐的内部,所述低压罐具有气管接口,压缩机与高压罐之间通过气管连接,气管接口与气管之间密封处理。[0006]可选的,所述压缩机的进气口处于开放状态。[0007]本发明基于上述的氦检漏回收系统,体提出了一种氦检漏回收方法,其回收步骤为:[0008]打开位于低压罐前级的抽气泵,将氦质谱检漏仪内残留的氦气抽至低压罐内;[0009]打开压缩机,使压缩机在低压罐的内部将氦气输送至高压罐内。[0010]采用上述技术方案,本发明将压缩机放置到低压罐的内部,当压缩机存在漏气问题时,泄露的气体则会进入低压罐内,与低压罐内的气体混合,而且由于泄露的气体浓度本身就是从低压罐内抽取,因而不会造成气体浓度下降的情况。附图说明[0011]图1是现有技术中采用的压缩机的连接方式;[0012]图2是本发明中采用的压缩机的连接方式。具体实施方式[0013]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与发明相关的部分。[0014]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相3CN115406592A说明书2/2页互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。[0015]如图2所示,本发明公开了一种氦检漏回收系统,其包括低压罐1、高压罐2及压缩机3,本发明的压缩机3放置在低压罐1的内部。具体而言,低压罐1具有罐体及可拆卸的罐盖,罐盖中设有贯穿两侧气管4,该气管4与罐盖的接缝做密封处理。密封处理的方式较多,例如将气管设置为三段,其中与罐盖接触的一段气管采用钢管,并采用焊接的方式与罐盖的开口进行连接,以焊缝来密封气管与罐盖的接缝,另外两段气管则采用配有接头的软管,分别连接压缩机3和高压罐2。由