一种卷对卷双面直写曝光装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115755539A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211529652.5(22)申请日2022.11.30(71)申请人深圳光迪科技有限公司地址518100广东省深圳市宝安区西乡街道固兴社区骏翔U8智造产业园U2栋105(72)发明人周朝阳(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205专利代理师伍传松(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种卷对卷双面直写曝光装置(57)摘要本发明公开了一种卷对卷双面直写曝光装置，包括：机架；用于输送基材的传输机构，传输机构包括送料辊、第一定位辊、第二定位辊、收料辊，第一定位辊与第二定位辊在垂直方向相对设置；垂直度检测装置，用于采集第一定位辊与第二定位辊之间基材的垂直度；定位辊调节装置，用于调节第一定位辊和/或第二定位辊的水平位置；两个曝光模组；控制器。本方案通过将传输机构的两个定位辊沿垂直方向布置，并配合垂直度检测装置的检测和定位辊调节装置的校正，从而使第一定位辊与第二定位辊之间的基材保持垂直状态，既保留了双面同时曝光具有的图形正反两面套合精度高、生产效率高的优点，又可以消除重力导致到的基材弯曲形变。CN115755539ACN115755539A权利要求书1/2页1.一种卷对卷双面直写曝光装置，其特征在于，包括：机架(100)；以及设置于所述机架(100)上的用于输送基材(10)的传输机构(200)，所述传输机构(200)包括沿基材输送路径依次布置的送料辊(210)、第一定位辊(220)、第二定位辊(230)、收料辊(240)，所述送料辊(210)与收料辊(240)分设于所述机架(100)的两侧，所述第一定位辊(220)与所述第二定位辊(230)在垂直方向相对设置以使敷设在二者之间的基材(10)处于竖向状态；垂直度检测装置(300)，用于采集所述第一定位辊(220)与所述第二定位辊(230)之间基材(10)的垂直度；定位辊调节装置(400)，用于调节所述第一定位辊(220)和/或第二定位辊(230)的水平位置，以使所述第一定位辊(220)与所述第二定位辊(230)之间的基材(10)保持垂直状态；两个曝光模组(500)，分别设置于所述第一定位辊(220)与所述第二定位辊(230)之间基材(10)的两侧；控制器(600)，分别与所述传输机构(200)、垂直度检测装置(300)、定位辊调节装置(400)、曝光模组(500)电性连接，用于控制所述传输机构(200)、曝光模组(500)的工作，以及根据所述垂直度检测装置(300)采集的所述垂直度来控制所述定位辊调节装置(400)的输出。2.根据权利要求1所述的一种卷对卷双面直写曝光装置，其特征在于:所述传输机构(200)还包括第一张紧轮(250)、第二张紧轮(260)，所述第一张紧轮(250)设置于所述送料辊(210)、第一定位辊(220)之间且位于所述送料辊(210)的下方，所述第二张紧轮(260)设置于所述第二定位辊(230)、收料辊(240)之间且位于所述收料辊(240)的上方。3.根据权利要求2所述的一种卷对卷双面直写曝光装置，其特征在于:所述机架(100)包括下机箱(110)和设置于所述下机箱(110)顶部的工作台(120)，所述送料辊(210)、第二定位辊(230)、收料辊(240)、第一张紧轮(250)、第二张紧轮(260)皆位于所述工作台(120)上方，所述第一定位辊(220)位于所述工作台(120)下方的下机箱(110)内，所述工作台(120)上设置有进料孔(121)、出料孔(122)，所述进料孔(121)位于所述第一张紧轮(250)与所述第一定位辊(220)之间，所述出料孔(122)位于所述第一定位辊(220)与所述第二定位辊(230)之间。4.根据权利要求1所述的一种卷对卷双面直写曝光装置，其特征在于:所述垂直度检测装置(300)包括多个激光位移传感器，多个所述激光位移传感器分别均匀设置于所述第一定位辊(220)与所述第二定位辊(230)之间基材(10)的一侧或两侧。5.根据权利要求1所述的一种卷对卷双面直写曝光装置，其特征在于:所述定位辊调节装置(400)包与所述控制器(600)连接的至少一组垂直度校正电机，所述垂直度校正电机用于根据所述控制器(600)的指令调节所述第一定位辊(220)或第二定位辊(230)的水平位置。6.根据权利要求1所述的一种卷对卷双面直写曝光装置，其特征在于:每个所述曝光模组(500)的下方各设置有一个Y向运动平台(700)，所述Y向运动平台(700)与所述控制器(600)电性连接，用于驱动所述曝光模组(500)在Y方向运动以实现基材