料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115981111A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202310007185.8(22)申请日2023.01.04(71)申请人合肥芯碁微电子装备股份有限公司地址230088安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼(72)发明人叶飞项宗齐曲鲁杰(74)专利代理机构合肥天明专利事务所(普通合伙)34115专利代理师娄岳(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法(57)摘要本发明提供一种料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法，包括机架，该机架沿长度方向上下布置有第一水平导轨和第二水平导轨；设置在机架中部的第一吸附组件，该第一吸附组件能够沿着第一水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；设置在机架中部的第二吸附组件，该第二吸附组件能够沿着第二水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；以及设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧。通过在基材悬空的中间部位设置起支撑作用的吸附组件，还能够对基材进行吸附，并且在基材两端设置端部夹紧机构，从而使得在曝光过程中基材被有效限位，避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移。CN115981111ACN115981111A权利要求书1/2页1.一种料带支撑装置，其特征在于，包括：机架，该机架沿长度方向上下布置有第一水平导轨和第二水平导轨；设置在机架中部的第一吸附组件，该第一吸附组件能够沿着第一水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；设置在机架中部的第二吸附组件，该第二吸附组件能够沿着第二水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；以及设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧。2.根据权利要求1所述的料带支撑装置，其特征在于，所述第一吸附组件包括用于对基材悬空的中间部位进行支撑的带有吸附孔的多个第一横梁，多个第一横梁的两端设置有一对第一侧边梁，该第一侧边梁的一端设置有第一安装横梁，该第一安装横梁与第一驱动机构的伸缩端固定连接，所述第一驱动机构能够带动第一侧边梁沿着所述第一水平导轨移动。3.根据权利要求2所述的料带支撑装置，其特征在于，所述第二吸附组件包括用于对基材悬空的中间部位进行支撑的带有吸附孔的多个第二横梁，多个第二横梁的两端设置有一对第二侧边梁，该第二侧边梁远离所述第一安装横梁的一端设置有第二安装横梁，该第二安装横梁与第二驱动机构的伸缩端固定连接，所述第二驱动机构能够带动第二侧边梁沿着所述第二水平导轨移动。4.根据权利要求3所述的料带支撑装置，其特征在于，当第一驱动机构带动第一吸附组件移动时，第一横梁不产生吸附力，第二横梁产生吸附力；当第二驱动机构带动第二吸附组件移动时，第二横梁不产生吸附力，第一横梁产生吸附力。5.根据权利要求1所述的料带支撑装置，其特征在于，所述端部夹紧机构包括上下布置的上辊轮和下辊轮，以及用于带动上、下辊轮夹紧的夹紧气缸。6.根据权利要求5所述的料带支撑装置，其特征在于，所述夹紧气缸包括用于驱动上辊轮运动的第一夹紧气缸和第二夹紧气缸，以及用于驱动下辊轮运动的第三夹紧气缸和第四夹紧气缸，其中上、下辊轮的两端分别设置有第一安装板和第二安装板，所述第一夹紧气缸和第三夹紧气缸分别设置在第一安装板的两侧，所述第二夹紧气缸和第四夹紧气缸分别设置在第二安装板的两侧。7.一种双面卷对卷曝光机，其特征在于，包括用于对基材进行输送的放卷装置和收卷装置，以及用于对基材进行涨紧悬空的如权利要求1‑6任一项所述的料带支撑装置，所述料带支撑装置的上下方分布设置有上曝光组件和下曝光组件。8.根据权利要求7所述的双面卷对卷曝光机，其特征在于，所述料带支撑装置还包括升降组件，该升降组件用于调节第一吸附组件和第二吸附组件的高度，使基材高度处于上、下曝光组件的焦面上。9.一种采用权利要求1‑6任一项所述料带支撑装置的双面卷对卷曝光方法，基材在曝光区域包括第一条带、第二条带和第三条带，其特征在于，所述双面卷对卷曝光方法包括如下步骤：S1、第一吸附组件对第二条带进行吸附，第二吸附组件对第三条带进行吸附，然后对第一条带进行曝光；2CN115981111A权利要求书2/2页S2、保持第二吸附组件对第三条带进行吸附，第一吸附组件移动到第一条带下对第一条带进行吸附，然后对第二条带进行曝光；S3、保持第一吸附组件对第一条带进行吸附，第二吸附组件移动到第二条带下对第二条带进行吸附，然后对第三条带进行曝光；S4、第一吸附组件和第二吸附组件分别移动到第二条带和第三条带下，进行下一组基材的曝光。3CN115981111A说明书1/4页料带支撑装置、双面卷对卷曝光