一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统.pdf

本发明公开了一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统，属于光学测量仪器技术领域。其包括光源、起偏器、第一相位补偿器、检偏器、第二相位补偿器、光谱仪、样品台和各向同性且均匀的参考样品，各向同性且均匀的参考样品能够置于样品台上，还包括光谱仪数据采集频率设定模块、光强数据采集模块、实验傅里叶系数运算模块、理论傅里叶系数运算模块、第一相位补偿器相位延迟量运算模块、第二相位补偿器相位延迟量运算模块和全穆勒矩阵椭偏仪剩余工作参数运算模块。应用该自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统对待测样品进行测量时，测量结果更加准确。

2023-11-03

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旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法.pdf

本发明属于精密光学测量仪器系统校准相关技术领域，其公开了一种旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法，该方法包括：将旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪的成像透镜和物镜分别更换为1/4标准波片和反射镜；多次旋转所述1/4标准波片的方位角，并从旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪的探测器处分别获取多个方位角下的光强信息；对光强信息进行傅里叶分析获得光强信息的傅里叶系数；建立光强信息的傅里叶系数与待校准系统参数的关系模型；不断调整关系模型中待校准系统参数的取值，直至关系模型中的傅里叶系数与上述傅里叶系数的误差在预设范围内则此时待校

2023-11-01

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一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法.pdf

本发明公开了一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法，属于光学测量技术领域。该光学测量方法搭建全穆勒矩阵椭偏仪的实验光路，对全穆勒矩阵椭偏仪进行局部回归校准，将待测样品置于样品台上，得到待测样品的实验傅里叶系数，根据待测样品的实验傅里叶系数，得到待测样品的信息。由于该全穆勒矩阵椭偏仪的校准方法不仅操作过程简单，而且充分利用了全穆勒矩阵椭偏仪同次测量数据，引入的误差相对较小，校准得到的参数更加准确，进而，对待测样品进行测量时，测量结果更加准确。因此，该光学测量方法的过程得到简化。

2023-11-03

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一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统.pdf

本发明公开了一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统，属于光学测量仪器技术领域。其包括光源、起偏器、第一相位补偿器、检偏器、第二相位补偿器、光谱仪、样品台和各向同性且均匀的参考样品，各向同性且均匀的参考样品能够置于样品台上，其特征在于，还包括光谱仪数据采集频率设定模块、光强数据采集模块、实验傅里叶系数运算模块、理论傅里叶系数运算模块、第一相位补偿器相位延迟量运算模块、第二相位补偿器相位延迟量运算模块和全穆勒矩阵椭圆偏振仪全部工作参数运算模块。应用该自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统对待测样品进行测量时，

2023-11-03

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一种光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪及其原位校准与测量方法.pdf

本发明公开了一种光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪及其原位校准与测量方法，属于光学测量相关技术领域，其中，光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪包括：高速起偏模块、样品调节模块以及实时检偏模块。光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪的原位校准方法是基于贝塞尔函数无穷级数展开与离散傅里叶变换而实施的，其同时获取了光弹调制器的峰值与静态延迟量，并确保了光弹调制器在全工作范围内的高精度与高灵敏度性能。光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪的测量方法是基于双光弹调制与空间分光解调而开展的，能够在微秒级时间分辨率下实现样品穆勒矩阵的原位与高精度测量。得益于穆勒矩阵的

2023-11-01

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