

一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统.pdf
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一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统.pdf
本发明公开了一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统,属于光学测量仪器技术领域。其包括光源、起偏器、第一相位补偿器、检偏器、第二相位补偿器、光谱仪、样品台和各向同性且均匀的参考样品,各向同性且均匀的参考样品能够置于样品台上,其特征在于,还包括光谱仪数据采集频率设定模块、光强数据采集模块、实验傅里叶系数运算模块、理论傅里叶系数运算模块、第一相位补偿器相位延迟量运算模块、第二相位补偿器相位延迟量运算模块和全穆勒矩阵椭圆偏振仪全部工作参数运算模块。应用该自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统对待测样品进行测量时,
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