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一种光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪及其原位校准与测量方法.pdf
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本发明公开了一种光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪及其原位校准与测量方法，属于光学测量相关技术领域，其中，光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪包括：高速起偏模块、样品调节模块以及实时检偏模块。光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪的原位校准方法是基于贝塞尔函数无穷级数展开与离散傅里叶变换而实施的，其同时获取了光弹调制器的峰值与静态延迟量，并确保了光弹调制器在全工作范围内的高精度与高灵敏度性能。光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪的测量方法是基于双光弹调制与空间分光解调而开展的，能够在微秒级时间分辨率下实现样品穆勒矩阵的原位与高精度测量。得益于穆勒矩阵的
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