真空室的具有气体引导机构的气体分配装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106414796A(43)申请公布日2017.02.15(21)申请号201580029436.6(74)专利代理机构北京泛华伟业知识产权代理有限公司1(22)申请日2015.03.311280代理人郭广迅(30)优先权数据102014105080.02014.04.09DE(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C23C16/455(2006.01)2016.12.02C23C16/54(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据H01J37/32(2006.01)PCT/EP2015/0571152015.03.31(87)PCT国际申请的公布数据WO2015/155078DE2015.10.15(71)申请人布勒阿尔策瑙股份有限公司地址德国阿尔策瑙(72)发明人J·达根权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称真空室的具有气体引导机构的气体分配装置(57)摘要本发明涉及真空室(10)的具有气体引导机构的气体分配装置，其包括具有喷嘴(27,37)的至少一个气体引导通道(25,30)，气体能从所述喷嘴被分配至真空室(10)，并且所述气体分配装置还具有气体供给机构，借助于其能将气体供给至所述气体引导机构，其中所述至少一个气体引导通道(25,30)由构造为空心型材的一体式构件(20)形成。所述气体供给机构的至少一个气体供给通道(25a,30a,30e)也由所述构造为空心型材的一体式构件(20)形成。CN106414796ACN106414796A权利要求书1/2页1.一种真空室(10)的、具有气体引导机构的气体分配装置，其包括具有喷嘴(27,37)的至少一个气体引导通道(25,30)，气体能从所述喷嘴被分配至所述真空室(10)，所述气体分配装置还具有气体供给机构，借助于所述气体供给机构能向所述气体引导机构供给气体，其中所述至少一个气体引导通道(25,30)由构造为空心型材的一体式构件(20)形成，其特征在于，所述构造为空心型材的一体式构件(20)也形成所述气体供给机构的至少一个气体供给通道(25a,30a,...,30e)。2.一种真空室(10)的、具有气体引导机构的气体分配装置，其包括具有主通道喷嘴(27)的至少一个主通道(25)以及包括具有调整通道喷嘴(37,37')的至少一个调整通道(30)，主气体能从所述主通道喷嘴被分配至所述真空室(10)，至少一种调整气体能从所述调整通道喷嘴被分配至所述真空室(10)，并且所述气体分配装置还具有气体供给机构，其具有至少一个主气体供给通道(25a)和至少一个调整气体供给通道(30a,...,30e)，所述主气体借助于所述主气体供给通道能被供给至所述主通道(25)，所述调整气体借助于所述调整气体供给通道能被供给至所述调整通道(30)，其中所述至少一个主通道(25)由构造为空心型材的一体式构件(20)形成，其特征在于，所述构造为空心型材的一体式构件(20)也形成所述至少一个主气体供给通道(25a)和/或所述至少一个调整气体供给通道(30a,...,30e)。3.根据权利要求2所述的气体分配装置，其特征在于，所述构造为空心型材的一体式构件(20)也形成所述至少一个调整通道(30)。4.根据权利要求2或3所述的气体分配装置，其特征在于，所述至少一个调整通道(30)包括多个沿通道纵向延展前后相继布置的腔室状部段(60,60')。5.根据权利要求4所述的气体分配装置，其特征在于，所述至少两个相继的部段(60,60')具有共同的横向隔板(70)。6.根据权利要求4或5所述的气体分配装置，其特征在于，每个部段(60,60')通过至少一个调整气体供给通道(30a,...,30e)分开地被供给调整气体或者能分开地被供给调整气体。7.根据权利要求2至6中至少一项所述的气体分配装置，其特征在于，所述主通道(25)和调整通道(30)具有共同的纵向隔板(32)。8.根据权利要求2至7中至少一项所述的气体分配装置，其特征在于，所述至少一个主气体供给通道(25a)布置在主通道壁(26a)的外部区域。9.根据权利要求2至8中至少一项所述的气体分配装置，其特征在于，所述至少一个调整气体供给通道(30a,...,30e)布置在所述调整通道壁(31a)的外部区域。10.根据权利要求8或9所述的气体分配装置，其特征在于，所述至少一个主气体供给通道(25a)通过至少一个供给开口(28)在主通道壁(26a)中与主通道(25)连接。11.根据权利要求10所述的气体分配装置，其特征在于，所述供给开口(28)构造为穿过所述主通道-供给通道(25a)直至延伸进入所述主通道的内部区域(26)的横孔，