具有透明抗菌多层膜的镀膜器件及抗菌多层膜的形成方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108531858A(43)申请公布日2018.09.14(21)申请号201810339842.8(22)申请日2018.04.16(71)申请人南昌科勒有限公司地址330096江西省南昌市高新开发区京东大道678号(72)发明人游顺青廖新程朝阳(74)专利代理机构北京邦信阳专利商标代理有限公司11012代理人金玺(51)Int.Cl.C23C14/08(2006.01)C23C14/35(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图1页(54)发明名称具有透明抗菌多层膜的镀膜器件及抗菌多层膜的形成方法(57)摘要本发明提供一种具有透明抗菌多层膜的镀膜器件及抗菌多层膜的形成方法，本发明的方法，包括如下步骤：1)对待镀件的表面进行除油、除蜡和除尘；2)对待镀件进行等离子处理；3)在经步骤2)处理的待镀件的表面镀第一二氧化钛膜；4)在所述第一二氧化钛膜的表面镀周期膜，所述周期膜以相互层叠的二氧化钛膜和氧化锌膜为一个周期，周期数为一个以上；5)在所述周期膜的表面镀第二二氧化钛膜。本发明的透明抗菌多层膜不仅具有良好的抗菌性能，而且具有很好的光亮度和透光性，同时抗菌膜层具有优异的耐磨性和耐腐蚀性能。CN108531858ACN108531858A权利要求书1/2页1.一种形成透明抗菌多层膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：1)对待镀件的表面进行除油、除蜡和除尘；2)对待镀件进行等离子处理；3)在经步骤2)处理的待镀件的表面镀第一二氧化钛膜，优选第一二氧化钛膜的厚度为15-20nm；4)在所述第一二氧化钛膜的表面镀周期膜，所述周期膜以相互层叠的二氧化钛膜和氧化锌膜为一个周期，周期数为一个以上，优选周期数为2-4个周期，优选周期膜的厚度为50-70nm；优选所述周期膜中与所述第一二氧化钛膜相接触的膜层为二氧化钛膜；5)在所述周期膜的表面镀第二二氧化钛膜，优选所述第二二氧化钛膜的厚度为18-30nm。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2)进行所述等离子处理的工艺条件包括：真空度为1.5-5.0×10-5Torr，通入500-1000sccm氩气，离子源电压控制为750-800V，处理时间为8-12min。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤3)中采用中频磁控溅射镀所述第一二氧化钛膜，工艺条件包括：中频电源功率为3-8KW，负偏压为80-200V，占空比为40％-80％，Ar/O2总流量为150-250sccm，镀膜时间为4-8min；靶材为钛靶，优选所述钛靶为纯度＞99.95％的旋转钛靶。4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，步骤4)采用中频磁控溅射形成所述周期膜，工艺条件包括：中频电源功率为3-8KW，负偏压为80-200V，占空比为40％-80％，Ar/O2总流量为150-250sccm，镀膜时间为15-30min；靶材为钛钯和氧化锌，优选靶材为纯度＞99.95％的旋转钛靶和氧化锌。5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，步骤5)采用中频磁控溅射镀所述第二二氧化钛膜，工艺条件包括：中频电源功率为3-8KW，负偏压为80-200V，占空比为40％-80％，Ar/O2总流量为150-250sccm，镀膜时间为6-15min；靶材为钛钯，优选为纯度＞99.95％的旋转钛靶。6.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述待镀件的表面为塑料或金属材质，优选为电镀了铬或PVD装饰膜的塑料或金属材质。7.一种具有透明抗菌多层膜的镀膜器件，其特征在于，所述镀膜器件包括镀膜器件本体及形成于镀膜器件本体表面的透明抗菌多层膜；所述透明抗菌多层膜包括形成于镀膜器件本体表面的第一二氧化钛膜、形成于所述第一二氧化钛膜表面的周期膜和形成于所述周期膜表面的第二二氧化钛膜，所述周期膜以相互层叠的二氧化钛膜和氧化锌膜为一个周期，周期数为一个以上；优选所述周期膜中与所述第一二氧化钛膜相接触的膜层为二氧化钛膜。8.根据权利要求7所述的具有透明抗菌多层膜的镀膜器件，其特征在于，所述第一二氧化钛膜厚度为15-20nm；所述第二二氧化钛膜的厚度为18-30nm，所述周期膜的厚度为50-70nm。9.根据权利要求7或8所述的具有透明抗菌多层膜的镀膜器件，其特征在于，所述周期膜的周期数为2-4个周期。10.根据权利要求7-9任一项所述的具有透明抗菌多层膜的镀膜器件，其特征在于，所2CN108531858A权利要求书2/2页述镀膜器件本体的表面为塑料或金属材质，优选为电镀了铬或PVD装饰膜的塑料或金属材质。11.根据权利要求7-10任一项所述的镀膜器件，其特征在于，所述镀膜器件为卫浴产品。12.根据权利要求7-11任一项所述的具有透明抗菌多层膜的镀膜