用于使基板同时旋转和悬浮的非接触式基板载体.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109790621A(43)申请公布日2019.05.21(21)申请号201780062438.4(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司720(22)申请日2017.06.2701代理人邹松青傅永霄(30)优先权数据16183400.72016.08.09EP(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C23C16/46(2006.01)2019.04.09H01L21/683(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据H01J37/32(2006.01)PCT/EP2017/0658302017.06.27(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/028873EN2018.02.15(71)申请人辛古勒斯技术股份公司地址德国美因河畔卡尔(72)发明人A.伊娃诺夫A.克勒普尔J.里希特权利要求书2页说明书15页附图8页(54)发明名称用于使基板同时旋转和悬浮的非接触式基板载体(57)摘要公开了用于在基板的沉积和/或蚀刻期间使基板（130）同时旋转和悬浮的系统（100）和对应的方法。系统（100）包括位于基板（130）下方的载体（110），其中，载体（110）包括至少两个气体入口（110）以向基板（130）的底表面提供气体来使基板悬浮在载体上方。系统进一步包括至少一个保持构件（120），该保持构件连接到载体（110）并且被构造成限制基板（130）的水平漂移。CN109790621ACN109790621A权利要求书1/2页1.一种用于在基板（130）的沉积和/或蚀刻期间使所述基板（130）同时旋转和悬浮的系统（100；200；300；310；330），所述基板（130）具有底表面和顶表面，其中，所述系统（100）包括：加热器（301、302；302、312），所述加热器被构造成将热施加到所述基板（130）的底表面和施加到所述基板（130）的顶表面，所述加热器（301、302；302、312）包括位于所述基板（130）下方的载体（110），其中，所述载体（110）包括至少三个气体入口（111）以向所述基板的底表面提供气体，以使所述基板（130）悬浮在所述载体（110）上方并且以同时使所述基板（130）旋转；以及至少一个保持构件（120；121；401至406），所述保持构件连接到所述载体（110）并且被构造成限制所述基板（130）的水平漂移。2.根据权利要求1所述的系统（100；200；300；310；330），其中，所述气体入口（111）相对于垂直于所述基板（130）的底表面的矢量倾斜，其中，所述倾斜的气体入口（111）的倾斜角度（φ）优选地在2°和60°之间，更优选地在5°和50°之间，甚至更优选地在10°和45°之间。3.根据权利要求1或2所述的系统（100；200；300；310；330），其中，所述至少一个保持构件（120；121；401至406）包括位于所述载体（110）处的单个保持构件（120），使得所述保持构件（120）在所述基板的中心位置处与所述基板（130）接合，或者其中，所述至少一个保持构件（120；121；401至406）包括位于所述载体处的至少三个保持构件（121），使得所述三个保持构件（121）在所述基板的边缘区域处限制所述基板（130）的水平移动。4.根据权利要求1至3中任一项所述的系统（100；200；300；310；330），其中，所述至少一个保持构件（120；121；401至406）包括销，所述销优选地具有朝向所述载体（110）增加的直径。5.根据权利要求1至4中任一项所述的系统（100；200；300；310；330），其中，所述载体（110）的面向所述基板（130）的上表面具有至多0.1mm的表面平坦度。6.根据权利要求1至5中任一项所述的系统（100；200；300；310；330），其中，所述至少三个气体入口（111）被形成为通过所述载体（110）的孔或空心销。7.根据权利要求1至6中任一项所述的系统（100；200；300；310；330），其中，所述至少三个气体入口（111）中的每个距所述载体（110）的中心之间的距离大于所述基板（130）的半径的30％，优选地大于所述基板（130）的半径的50％，更优选地大于所述基板（130）的半径的70％。8.根据权利要求1至7中任一项所述的系统（100；200；300；310；330），其中，所述至少一个保持构件（120、121）进一步包括旋转速度传感器和/或位置传感器，以测量所述基板的旋转和/或位置。9.根据权利要求1至8中任一项所述的系统（100；200；300；310；330），其中，所述