用于沉积系统中的非接触式运输的载体，用于载体的非接触式运输的装置，以及用于在沉积系统中非接触式运输载体的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109983154A(43)申请公布日2019.07.05(21)申请号201780054189.4(51)Int.Cl.(22)申请日2017.10.27C23C14/50(2006.01)H01L21/677(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C23C14/12(2006.01)2019.03.04B65G49/06(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2017/0776412017.10.27(87)PCT国际申请的公布数据WO2019/081043EN2019.05.02(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼克莉丝汀·舍巴赫(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司11006代理人徐金国赵静权利要求书2页说明书14页附图6页(54)发明名称用于沉积系统中的非接触式运输的载体，用于载体的非接触式运输的装置，以及用于在沉积系统中非接触式运输载体的方法(57)摘要本公开提供了一种用于在沉积系统中非接触式运输的载体(200)。所述载体(200)包括沿所述载体(200)的运输方向(1)设置的一个或多个第一磁体单元(210)；以及可检测器件(200)，所述可检测器件(200)具有几何轮廓(220)，所述几何轮廓(220)布置在所述载体(200)的端部部分处并沿着所述运输方向(1)变化。CN109983154ACN109983154A权利要求书1/2页1.一种用于沉积系统中的非接触式运输的载体，所述载体包括：一个或多个第一磁体单元，所述一个或多个第一磁体单元沿所述载体的运输方向设置，以及可检测器件，所述可检测器件具有几何轮廓，所述几何轮廓布置在所述载体的端部部分处并沿着所述运输方向变化。2.一种用于沉积系统中的非接触式运输的载体，所述载体包括：一个或多个第一磁体单元，所述一个或多个第一磁体单元沿所述载体的运输方向设置，以及可检测器件，所述可检测器件在所述载体的端部部分处，其中所述可检测器件具有沿着所述运输方向布置的两个或更多个具有不同材料特性的区段。3.根据权利要求1或2所述的载体，其中所述可检测器件可由所述沉积系统的一个或多个第一传感器检测，以确定所述载体在所述沉积系统中的位置。4.根据权利要求3所述的载体，其中所述可检测器件被布置为面向所述一个或多个第一传感器。5.根据权利要求1至4中任一项所述的载体，其中所述可检测器件在所述运输方向上在所述载体的整个长度上延伸。6.根据权利要求1和3至5中任一项所述的载体，其中所述几何轮廓包括选自由以下项组成的组的一个或多个形状元件：凹部、间断、台阶、倾斜部，以及它们的任何组合。7.根据权利要求6所述的载体，其中所述倾斜部是相对于所述运输方向倾斜的表面。8.根据权利要求6或7所述的载体，其中所述载体包括沿着所述运输方向的第一端部和第二端部，所述第二端部与所述第一端部相对，其中所述一个或多个形状元件布置在所述第一端部和/或所述第二端部处。9.根据权利要求2至5中任一项所述的载体，其中所述两个或更多个区段包括至少一个具有第一材料性质的第一区段和至少一个具有第二材料性质的第二区段，其中所述第一材料性质和所述第二材料性质是磁性性质、电气性质或光学性质。10.根据权利要求9所述的载体，其中所述载体包括沿着所述运输方向的第一端部和第二端部，所述第二端部与所述第一端部相对，其中所述至少一个第一区段布置在所述第一端部和/或所述第二端部处。11.一种用于载体的非接触式运输的装置，所述装置包括：引导结构，所述引导结构具有多个主动磁性单元；一个或多个第一传感器；根据权利要求1至10中任一项所述的载体。12.根据权利要求11所述的装置，其中所述一个或多个第一传感器被配置为检测所述一个或多个第一传感器与所述载体的所述几何轮廓之间的距离，或者其中所述一个或多个第一传感器是被配置为检测所述可检测器件的磁性材料的霍尔传感器。13.如权利要求11或12所述的装置，其中：所述一个或多个第一传感器和所述引导结构被布置在所述几何轮廓的相对侧上，或者所述一个或多个第一传感器和所述引导结构布置在所述几何轮廓的同一侧上。14.一种用于在沉积系统中非接触式运输载体的方法，所述方法包括：2CN109983154A权利要求书2/2页检测所述沉积系统的传感器与被在运输方向上运输的所述载体的端部部分处的几何轮廓之间的距离；以及当所述检测到的距离指示所述几何轮廓变化时，控制所述沉积系统的至少一个主动磁体单元。15.一种用于在沉积系统中非接触式运输载体的方法，所述方法包括：检测被在运输方向上运输的所述载体的端部部分的至少一种材料性质；以及当所述检测到的至少一种材料性质指示变化时