用于椭偏确定样品特性的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113302471A(43)申请公布日2021.08.24(21)申请号202080009440.7(74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限(22)申请日2020.01.23责任公司11219代理人杨靖韩毅(30)优先权数据DE102019101650.92019.01.23DE(51)Int.Cl.G01N21/21(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.07.15(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2020/0515662020.01.23(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/152241DE2020.07.30(71)申请人欧库睿因有限公司地址德国哥廷根(72)发明人马蒂亚斯·杜韦权利要求书1页说明书8页附图3页(54)发明名称用于椭偏确定样品特性的方法(57)摘要本发明涉及用于椭偏确定样品(12)的特性的方法，该方法包括以下步骤：‑将样品(12)定位在椭偏仪(10)中，其中，样品表面的测量区域的面法线(n)相对于椭偏仪(10)的参考轴线(z)倾斜，‑针对测量区域测量缪勒矩阵；‑根据使所测得的缪勒矩阵与如下矩阵的矩阵乘积相等来建立至少非欠定的方程组：+关于输入旋转角(γ)的旋转矩阵，+归一化的NCS形式的各向同性的缪勒矩阵，和+关于输出旋转角(‑δ)的旋转矩阵；‑根据代表待确定的样品特性的参数求解所述方程组。本发明的特征在于，在建立方程组时，将输入旋转角(γ)和输出旋转角(‑δ)拟设为相互独立的参数。CN113302471ACN113302471A权利要求书1/1页1.用于椭偏确定样品(12)的特性的方法，所述方法包括以下步骤：‑将所述样品(12)定位在椭偏仪(10)中，其中，样品表面的测量区域的面法线(n)相对于所述椭偏仪(10)的参考轴线(z)倾斜，‑针对所述测量区域测量缪勒矩阵，‑根据使所测得的缪勒矩阵与如下矩阵的矩阵乘积相等来建立至少非欠定的方程组：+关于输入旋转角(γ)的旋转矩阵，+归一化的NCS形式的各向同性的缪勒矩阵，和+关于输出旋转角(‑δ)的旋转矩阵，‑根据代表待确定的样品特性的参数求解所述方程组，其特征在于，在建立所述方程组时，将所述输入旋转角(γ)和所述输出旋转角(‑δ)拟设为相互独立的参数。2.根据权利要求1的方法，其特征在于，在求解所述方程组的范畴内，明确地计算缪勒参数N、S、C和/或与这些缪勒参数等效的椭偏传递参量Δ和Ψ。3.根据权利要求2的方法，所述方法还包括以下步骤：‑随着样品模型的参数的变化，通过数值上的误差最小化法从所计算的椭偏传递参量Δ和Ψ来获知光学和/或机械方面的样品特性。4.根据权利要求3的方法，其特征在于，在所述误差最小化法的范畴内，将入射角用作要变化的附加的参数。5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，在求解所述方程组的范畴内，明确地计算所述输入旋转角(γ)和所述输出旋转角(‑δ)。6.根据权利要求5的方法，其特征在于，从通过求解所述方程组获知的旋转角(γ、‑δ)计算在测量区域内的样品表面的面法线(n)相对于所述椭偏仪(10)的参考轴线(z)的定向。7.根据权利要求1的方法，其特征在于，随着样品模型的参数的变化，通过数值上的误差最小化法求解所述方程组。8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述椭偏仪(10)是成像椭偏仪(10)。2CN113302471A说明书1/8页用于椭偏确定样品特性的方法技术领域[0001]本发明涉及一种用于椭偏确定样品特性的方法，该方法包括以下步骤：[0002]‑将样品定位在椭偏仪中，其中，样品表面的测量区域的面法线相对于椭偏仪的参考轴线倾斜，[0003]‑针对测量区域测量缪勒矩阵，[0004]‑根据使所测得的缪勒矩阵与如下矩阵的矩阵乘积相等来建立至少非欠定的方程组，[0005]+关于输入旋转角的旋转矩阵，[0006]+归一化的NCS形式的各向同性的缪勒矩阵，和[0007]+关于输出旋转角的旋转矩阵，[0008]‑根据代表待确定的样品特性的参数求解方程组。背景技术[0009]这种方法由如下所公知：W.Liet.al.:CharacterizationofcurvedsurfacelayerbyMuellermatrixellipsometry",JournalofVacuumScience&TechnologyB34,020602(2016)；http://dx.doi.org/10.1116/1.4943952(W.Li等人所著：“通过缪勒矩阵椭偏法表征曲面层”，真空科学与技术杂志B34，020602(2016)；http://dx.doi.org/10.1116/1.4943952)。[0010]椭圆偏振法、尤其是