样品校准法在单波长椭偏仪中的应用.docx
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样品校准法在单波长椭偏仪中的应用样品校准法在单波长椭偏仪中的应用摘要:单波长椭偏仪是一种常用的光学仪器,用于测量物质样品的光学活性。样品校准是确保椭偏仪准确测量的重要步骤之一。本文主要介绍了样品校准法在单波长椭偏仪中的原理和应用,以及一些实际案例。引言:单波长椭偏仪是一种用于测量物质样品的旋光性质的仪器。它通过测量样品对拉曼光的旋光角度和椭圆率来确定样品的旋光性质。然而,由于各种因素的影响,单波长椭偏仪在测量过程中会产生一定的误差。为了保证测量结果的准确性,样品校准法被广泛应用于单波长椭偏仪中。一、样品校
椭偏仪的校准方法研究.docx
椭偏仪的校准方法研究作者:赵琳李锁印许晓青韩志国冯亚南梁法国(中国电子科技集团公司第十三研究所计量中心,石家庄,050051)摘要:在微电子行业生产过程中,膜厚测量是非常重要的工艺参数。本文主要介绍了用于测量膜厚的测量仪器——椭偏仪,并以膜厚标准样片的研制与定标方法为主要研究内容,对椭偏仪的校准方法进行了分析研究,并对其进行了不确定度分析。关键词:膜厚,膜厚标准,椭偏仪,校准,不确定度0.引言在微电子制造领域,微纳米尺度膜厚作为其核心参数之一,广泛应用于器件中。膜厚的精确测量,对器件制造的一致性和可靠性起
椭偏仪论文.docx
椭偏法侧薄膜后的和折射率云南大学刘海达摘要:利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换,平面偏振光通过四分之一波片,使得具有±π/4相位差,使入射光的振动平面和四分之一波片的主截面成45°。将四分之一波片置于其快轴方向f与x方向的夹角α为π/4的方位,E0为通过起偏器后的电矢量,P为E0与x方向间的夹角。,通过四分之一波片后,E0沿快轴的分量与沿慢轴的分量比较,相位上超前π/2。在x轴、y轴上的分量为:由于x轴在入射面内,而y轴与入射面垂直,故Ex就是Eip,Ey就是Eis。图1-3由此可见,
椭偏仪讲义.docx
用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率一实验目的1、了解椭圆偏振法的基本原理;2、学会用椭圆偏振法测量纳米级薄膜的厚度和折射率.二实验仪器TPY-1型椭圆偏振测厚仪,计算机三实验原理:椭圆偏振测厚技术是一种测量纳米级薄膜厚度和薄膜折射率的先进技术,同时也是研究固体表面特性的重要工具。椭圆偏振法测量的基本思路是,起偏器产生的线偏振光经取向一定的波片后成为特殊的椭圆偏振光,把它投射到待测样品表面时,只要起偏器取适当的透光方向,被待测样品表面反射出来的将是线偏振光。根据偏振光在反射前后的偏振状态变化(包括振幅和相位
[精品]偏仪椭.doc
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