一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108194353A(43)申请公布日2018.06.22(21)申请号201810106097.2(22)申请日2018.02.02(71)申请人中山市天元真空设备技术有限公司地址528400广东省中山市石岐区民康路7号2卡(72)发明人丁东胜任卫国马亦文(74)专利代理机构中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙)44286代理人邹常友(51)Int.Cl.F04C18/12(2006.01)F04C29/00(2006.01)权利要求书1页说明书8页附图2页(54)发明名称一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵(57)摘要本发明公开了一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，它包括：泵体，其至少包括一级罗茨系统；罗茨系统至少包括一级罗茨工作单元；罗茨工作单元设有成对的罗茨转子、成对的罗茨转轴，以及电驱动终端，电驱动终端联接于罗茨转轴上；啮合机构，其联接于罗茨转轴上，并通过电驱动终端联动罗茨转子进行真空作业；啮合机构与罗茨转轴间装配有磁力联轴器；数字化综合电传驱动系统，其连接电驱动终端，进行电能驱动、调速、启停和联锁的统一控制。本发明每对罗茨转子都是独立的，解除了相互牵扯；通过各对罗茨转子独立电驱减小机械传动长度；采用磁力齿轮传动、磁力联轴器联接减少了润滑和噪音，由静密封改善了密封状态。CN108194353ACN108194353A权利要求书1/1页1.一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于，它包括：泵体，其至少包括一级罗茨系统；所述罗茨系统至少包括一级罗茨工作单元；所述罗茨工作单元设有成对的罗茨转子、成对的罗茨转轴，以及电驱动终端，所述电驱动终端联接于所述罗茨转轴上；啮合机构，其联接于所述罗茨转轴上，并通过所述电驱动终端联动所述罗茨转子进行真空作业；所述啮合机构与所述罗茨转轴间装配有磁力联轴器；数字化综合电传驱动系统，其连接所述电驱动终端，进行电能驱动、调速、启停和联锁的统一控制。2.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：所述电驱动终端包括有电驱转子、电驱定子；所述电驱转子装配于所述罗茨转轴上，同时于电驱转子和电驱定子的气隙间套装有密封套。3.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：所述磁力联轴器的气隙间套装有密封套。4.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：在泵体内的同级或不同级的所述罗茨工作单元上，将各罗茨工作单元的腔室通过并联或串联管道从进气口至排气口依次联通。5.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：每一成对的罗茨转子均为一独立的罗茨工作单元，所述罗茨转子间的气体流通管道正常联接时，所述罗茨工作单元任意布置于所述泵体上。6.根据权利要求1所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：所述啮合机构包括传动齿轮，该传动齿轮包括主传动齿轮和从传动齿轮。7.根据权利要求1-6任一项所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：一所述罗茨系统包括一级或多级罗茨工作单元，每一罗茨工作单元均为一独立的工作单元，成对的罗茨转子、成对的罗茨转轴均独立地设置于所述罗茨工作单元内。8.根据权利要求7所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：所述罗茨转子包括主动罗茨转子和从动罗茨转子；所述罗茨转轴包括主动罗茨转轴和从动罗茨转轴。9.根据权利要求2或3所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：所述密封套包括不影响磁力的密封套。10.根据权利要求1或6所述的成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵，其特征在于：所述啮合机构包括磁力传动齿轮。2CN108194353A说明书1/8页一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵【技术领域】[0001]本发明涉及真空方面的技术领域，特别是一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵。【背景技术】[0002]传统的直排大气的多级罗茨干式真空泵是将所有的各级罗茨转子按顺序依次装在同一对(二根)轴上，就像二根并排放置的糖葫芦串一样：由同一个电机驱动，通过一对啮合齿轮传动保证两轴的运动关系不变；各级罗茨转子之间在轴向用隔板隔开形成独立工作腔室，而进排气口之间通过机械方式首尾相连构成串联工作关系；同时，各级罗茨转子及其工作腔室的大小，应根据真空泵的抽速、转速、级数和级间压缩系数需要按一定的比例关系组成。由于传统泵的齿轮箱有润滑油，为防污染，齿轮箱与转子工作室必须用动密封封住；而且，电机端为防进大气也要密封。再者，传统泵的传