普及干式真空泵.pdf
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普及干式真空泵还子孙后代一片蓝天干式真空泵推广小组如需交流请发电子邮件至ganshizhenkong@sina.com干式真空泵基础知识一、真空泵分类:真空泵是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵从高/超真空到粗/低真空,其产品大致可分14大类:高/超真空——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。中真空——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。粗/低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。二、真空泵的
干式真空泵.pdf
本发明的实施例提供了一种干式真空泵,涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子,壳体的内部开设有容置空腔,两个一体式转子转动安装在容置空腔内,两个一体式转子相互啮合,两个一体式转子用于同步反向转动,以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少,减少加工难度,降低生产成本和装配难度,提升设备的性能和使用寿命。
干式螺杆真空泵.pdf
本发明提供了一种干式螺杆真空泵,属于泵技术领域。它解决了现有的干式螺杆真空泵不适合用于抽吸压送易燃易爆气体的问题。本干式螺杆真空泵包括泵体和一螺杆组件,泵体上开设有进气口和排气口,螺杆组件转动能使气体从进气口进入泵体且从排气口排出;控制干式螺杆真空泵的进气量与排气量比值X和控制排气口与进气口之间压差Y实现控制排气温度与进气温度的温差Z;1<X≤1.4,Y≤0.1MPa,那么Z≤35℃。本干式螺杆真空泵尤其适合抽吸压送易燃易爆且易溶于液体介质的气体,既保证抽吸压送气体安全性,又提高气体回收利用率,同时还具有
涡扇干式真空泵.pdf
本发明涉及真空泵领域,具体而言,涉及一种涡扇干式真空泵。其包括主架、驱动电机、驱动轴和初级排风筒;驱动电机、驱动轴和初级排风筒均设置在主架上;驱动电机与驱动轴连接;驱动轴和初级排风筒同轴设置;初级排风筒内设置有第一涡扇;第一涡扇与驱动轴固定连接,且同轴设置;初级排风筒远离驱动轴的一端设置有第一进风口;第一涡扇的旋向与驱动轴的转动方向相反;初级排风筒内设置有第一涡轮;第一涡轮设置在第一涡扇远离第一进风口的一侧;初级排风筒的侧壁上设置有第一出风口。本发明涡扇干式真空泵的抽速大,功率小,成本低,可以独立使用,并
干压缩式真空泵.pdf
一种干压缩式真空泵,特别是螺杆泵,具有两个转子元件(14),两个转子元件(14)设置在泵室(12)中并且分别由转子轴(22)承载。转子轴(22)的两个轴端突出通过泵壳体(10)的侧壁(28)。在两个轴端(28)上分别设置有一个齿形皮带轮(38)。而且,设置有用于驱动转子轴(22)的驱动装置和电机。根据本发明,转子轴(22)通过齿形皮带(40)来驱动。为了能够将齿形皮带用于驱动目的,在所述两个转子元件(14)之间设置了大于±0.75°的转动侧向间隙,特别是大于±1°的转动侧向间隙。