一种新型多级罗茨真空泵.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114607600A(43)申请公布日2022.06.10(21)申请号202011447705.XF04C25/02(2006.01)(22)申请日2020.12.09F04C23/00(2006.01)F04C23/02(2006.01)(71)申请人东北大学F04C29/06(2006.01)地址110169辽宁省沈阳市浑南区创新路F04C29/12(2006.01)195号申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(72)发明人李小号李中浩王光玉徐静怡刘坤刘在行王桂鹏巴要帅巴德纯毕德龙(74)专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司21002专利代理师汪海(51)Int.Cl.F04C18/12(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种新型多级罗茨真空泵(57)摘要本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动，主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且各个螺杆转子设于第一泵腔中，各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中，第一泵腔设有排气口，第二泵腔设有进气口，隔板上设有流通孔。本发明在较宽的压力范围内有较大的抽速，且运行平稳。CN114607600ACN114607600A权利要求书1/1页1.一种新型多级罗茨真空泵，其特征在于：包括壳体(7)、驱动组件、主动轴(4)和从动轴(18)，其中主动轴(4)和从动轴(18)均设于所述壳体(7)中且通过所述驱动组件驱动同步反向转动，所述主动轴(4)上依次设有主动螺杆转子(6)、主动扭叶罗茨转子(9)和主动罗茨转子(10)，所述从动轴(18)上依次设有从动螺杆转子(20)、从动扭叶罗茨转子(16)和从动罗茨转子(14)，且所述主动螺杆转子(6)与从动螺杆转子(20)啮合，所述主动扭叶罗茨转子(9)与从动扭叶罗茨转子(16)啮合，所述主动罗茨转子(10)与从动罗茨转子(14)啮合，壳体(7)内部通过隔板(17)分成第一泵腔(701)和第二泵腔(702)，且所述主动螺杆转子(6)和从动螺杆转子(20)设于第一泵腔(701)中，所述主动扭叶罗茨转子(9)、主动罗茨转子(10)、从动扭叶罗茨转子(16)和从动罗茨转子(14)设于第二泵腔(702)中，所述第一泵腔(701)设有排气口(19)，所述第二泵腔(702)设有进气口(22)，所述隔板(17)上设有流通孔(13)。2.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述主动罗茨转子(10)和主动扭叶罗茨转子(9)为一体结构，所述从动罗茨转子(14)和从动扭叶罗茨转子(16)也为一体结构。3.根据权利要求2所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述主动罗茨转子(10)、主动扭叶罗茨转子(9)、从动罗茨转子(14)和从动扭叶罗茨转子(16)端面型线一致。4.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述主动轴(4)上设有多级主动罗茨转子(10)，所述从动轴(18)上设有多级从动罗茨转子(14)，各级主动罗茨转子(10)与对应的从动罗茨转子(14)啮合。5.根据权利要求4所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述第二泵腔(702)内通过隔板(17)分隔成多个腔体，且每级主动罗茨转子(10)和从动罗茨转子(14)置于对应的腔体中。6.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述进气口(22)中心轴线和排气口(19)中心轴线垂直设置。7.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述第二泵腔(702)靠近第一泵腔(701)一端设有与所述流通孔(13)连通的凹槽(23)。8.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述第一泵腔(701)侧壁和第二泵腔(702)侧壁均设有水冷通道(15)。9.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述驱动组件包括电机(1)、主动齿轮(2)和从动齿轮(21)，主动轴(4)与电机(1)输出轴连接，主动齿轮(2)套装于主动轴(4)轴端，从动齿轮(21)套装于从动轴(18)轴端，且所述主动齿轮(2)与从动齿轮(21)啮合。10.根据权利要求9所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：在所述壳体(7)一端设有齿轮室(3)，所述主动齿轮(2)和从动齿轮(21)设于所述齿轮室(3)中。2CN114607600A说明书1/4页一种新型多级罗茨真空泵技术领域