铸造多晶硅的研究进展.doc
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多晶硅铸造炉.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括用于放置硅锭的炉体,所述炉体内设置套设在所述硅锭外的隔热笼,所述隔热笼与所述炉体的侧壁之间设置外保温板;本发明的多晶硅铸锭炉,通过在隔热笼的侧壁设置用于隔热的侧保温板,能够避免多晶硅结晶时热量横向扩散不均匀,避免了热量过快扩散,减少硅锭杂质和位错的产生,降低了能耗,降低了制造成本。
铸造多晶硅的制备与研究.docx
铸造多晶硅的制备与研究随着电子信息技术的不断发展,集成电路芯片的制造工艺也在不断更新。多晶硅作为核心材料之一,在集成电路、太阳能电池等领域中受到了广泛的应用。为满足更加严苛的制造要求,铸造多晶硅的制备与研究也成为了当前研究的重要方向。一、多晶硅的铸造制备技术1.溶液法溶液法是铸造多晶硅最常用的制备技术之一。该方法基于多晶硅材料在溶液中晶化过程的物理化学特性。多晶硅粉末溶解于溶液中,通过挥发剂调节溶液中硅的浓度,使其达到过饱和度,从而在热处理过程中形成多晶硅晶体。该方法具有制备规模可控、晶化质量稳定等优点。
铸造多晶硅用竖炉.pdf
本发明涉及硅生产技术领域。一种铸造多晶硅用竖炉,包括炉体,所述炉体的顶部和侧壁都设有加热机构,所述炉体内设有坩埚,所述炉体依次设有加热区、梯度区和冷却区,其特征在于,还包括驱动坩埚升降的坩埚升降机构,所述坩埚的底壁内表面设有黑色氮化硅粉层和铺设在黑色氮化硅粉层上的多晶硅层,所述多晶硅层的厚度为3‑5毫米,所述加热区、梯度区和冷却区从上向下依次分布。本发明提供了一种铸造多晶硅用竖炉,以提高整锭硅片的效率。
多晶硅锭及其铸造方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅锭及其铸造方法,应用于仅具有顶部加热器且散热台底部周边设置有保温底板的铸锭炉,包括:将硅料装载在坩埚内,加热硅料至熔融状态;降低多晶硅铸锭炉顶部加热器的功率,同时逐步打开百叶至25°-35°角,将熔融状态的硅液表面温度降至1400℃-1450℃,使底部硅液开始准备结晶;百叶继续逐步打开至最大开度90°角,保持稳定的硅液结晶速率,其中,百叶的打开速率小于第二步骤中百叶的打开速率,且逐渐变小;维持百叶最大开度,直至结晶完成。本发明通过改变多晶硅定向长晶的工艺,解决了硅锭四周杂质分散分布的