多晶硅铸造炉.pdf
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相关资料
多晶硅铸造炉.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括用于放置硅锭的炉体,所述炉体内设置套设在所述硅锭外的隔热笼,所述隔热笼与所述炉体的侧壁之间设置外保温板;本发明的多晶硅铸锭炉,通过在隔热笼的侧壁设置用于隔热的侧保温板,能够避免多晶硅结晶时热量横向扩散不均匀,避免了热量过快扩散,减少硅锭杂质和位错的产生,降低了能耗,降低了制造成本。
铸造多晶硅用竖炉.pdf
本发明涉及硅生产技术领域。一种铸造多晶硅用竖炉,包括炉体,所述炉体的顶部和侧壁都设有加热机构,所述炉体内设有坩埚,所述炉体依次设有加热区、梯度区和冷却区,其特征在于,还包括驱动坩埚升降的坩埚升降机构,所述坩埚的底壁内表面设有黑色氮化硅粉层和铺设在黑色氮化硅粉层上的多晶硅层,所述多晶硅层的厚度为3‑5毫米,所述加热区、梯度区和冷却区从上向下依次分布。本发明提供了一种铸造多晶硅用竖炉,以提高整锭硅片的效率。
多晶硅还原炉及使用多晶硅还原炉生长多晶硅的方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅还原炉及使用多晶硅还原炉生长多晶硅的方法,多晶硅还原炉的炉腔由隔板分隔为至少两个子炉腔,隔板上设置有开口,开口邻近炉腔的炉顶或炉底,其中一个子炉腔内设置有用于进气的进气口,其余的至少一个子炉腔内设置有用于排气的出气口,通入到设置有进气口的子炉腔内的供料气通过隔板的开口流入到相邻的子炉腔内,设置有进气口的子炉腔内的供料气和与其相邻的子炉腔内的供料气的流动方向相反。本发明中的子炉腔成为平推流反应器,供料气在子炉腔内朝着一个方向流动,防止子炉腔内的气流逆向发生扰动,从而使得气体流速和温度在
铸造多晶硅的制备与研究.docx
铸造多晶硅的制备与研究随着电子信息技术的不断发展,集成电路芯片的制造工艺也在不断更新。多晶硅作为核心材料之一,在集成电路、太阳能电池等领域中受到了广泛的应用。为满足更加严苛的制造要求,铸造多晶硅的制备与研究也成为了当前研究的重要方向。一、多晶硅的铸造制备技术1.溶液法溶液法是铸造多晶硅最常用的制备技术之一。该方法基于多晶硅材料在溶液中晶化过程的物理化学特性。多晶硅粉末溶解于溶液中,通过挥发剂调节溶液中硅的浓度,使其达到过饱和度,从而在热处理过程中形成多晶硅晶体。该方法具有制备规模可控、晶化质量稳定等优点。
铸造炉.pdf
本发明公开一种铸造炉,该铸造炉包括炉体、设置在该炉体上的炉口、设置在该炉口内的升液管,该升液管连通铸造模具,该升液管以该炉口为界分为升液管上部和升液管下部,该升液管上部在该炉体之外,该升液管下部在该炉体内,该升液管上部管内容量满足使该升液管上部充满金属液时该金属液的凝固速度慢于该铸造模具内该金属液最慢凝固部分的凝固速度。上述铸造炉的补缩能力强,铸造良率高。