真空基片传送系统.pdf

本发明公开了一种真空基片传送系统，包括真空腔室、腔室外的驱动机构和外传动机构、容置在腔室侧壁密封孔中的密封传动机构以及布设在腔室内两侧的内传动机构，所述驱动机构同步驱动外传动机构，所述密封传动机构一端与外传动机构相连，另一端与内传动机构相连，所述内传动机构包括传动轴和传送轮，所述传动轴一端与密封传动机构相连，另一端与传送轮相连，通过传送轮来传送基片等薄板材料，使真空腔室内的传动部件达到最少，解决了传动机构本身引入真空系统污染的问题，大大提高了清洁度。本发明真空基片传送系统高清洁度、无污染、结构

2023-10-22

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一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置.pdf

本发明公开了一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置，包括传输机构和平移机构，传输机构包括多根穿过真空室两侧侧板的传动杆，传动杆的两端分别安装在两块安装板上，在真空室外的传动杆外套有波纹管，传动杆一端的末端安装有同步带轮，相邻两根传动杆上的同步带轮安装位置相对，两块安装板上的马达通过同步带与同侧的传动杆上的同步带轮连接，在真空室内的传动杆上装有摩擦轮，相邻两根传动杆上的摩擦轮交错排布，平移机构包括平移马达、丝杠、丝杠螺母、平移导向装置，平移马达通过同步带与丝杠连接，丝杠螺母通过连接杆与安装板连接。本发明实现了

2023-08-30

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成摞陶瓷基片托盘拆分传送机构及拆分传送方法.pdf

本发明公开了一种成摞陶瓷基片托盘拆分传送机构及拆分传送方法，解决了现有拆分机构存在的工作效率低，不适合自动化生产要求的问题。在左L形托板（7）与右L形托板（8）之间设置有最下层陶瓷基片托盘（9），在最下层陶瓷基片托盘（9）的上面摞有倒数第二层陶瓷基片托盘（10），在皮带传送机固定支撑架（1）上设置有升降主气缸安装座（11），在升降主气缸安装座上设置有升降主气缸（12），在升降主气缸的向上伸出的输出轴上安装有升降次气缸安装座（13），在升降次气缸安装座上设置有升降次气缸（14），升降次气缸（14）向上伸出的

2023-06-02

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一种用于真空回流焊炉的传送系统.pdf

本发明涉及一种用于真空回流焊炉的传送系统，其特征在于，包括炉内传输装置、真空装置和轨道调宽装置。炉内传输装置包括至少一条炉内传输轨道，真空装置包括壳体、真空传输模块、前门连接轴、后门连接轴、第一连接轴、第二连接轴和若干过渡轴，真空传输轨道和炉内传输轨道的位置一一共线对应；轨道调宽装置连接炉内传输轨道内的每根传输链条，以及真空传输轨道内的每根真空传输链条，炉内传输轨道中的两条传输链条的间距，和该炉内传输轨道共线对应的、真空传输轨道中的两条真空传输链条的间距保持同步调节。与现有技术相比，本发明炉内传输装置内的

2023-06-15

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基片处理系统和基片处理方法.pdf

本发明提供即使在处理单元中发生了异常的情况下，也能够减少废弃的基片的数量的技术。本发明的一个方式的基片处理系统包括：能够对基片实施同种的处理的多个处理单元；对多个处理单元进行基片的输送的输送装置；以及控制多个处理单元和输送装置的控制部。此外，控制部具有救济处理部、输送处理部和再救济处理部。救济处理部对在发生了异常的异常处理单元中正在处理的滞留基片，在异常处理单元中进行救济处理。输送处理部在异常处理单元中不能对滞留基片进行救济处理的情况下，基于预先设定的输送模式，将滞留基片从异常处理单元输送到另一处理单元。

2023-11-06

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