预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共14页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102080213A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102080213A(43)申请公布日2011.06.01(21)申请号201110023970.X(22)申请日2011.01.21(71)申请人东北大学地址110819辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号(72)发明人张世伟韩进韩永超(74)专利代理机构沈阳东大专利代理有限公司21109代理人李运萍(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图6页(54)发明名称一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架(57)摘要一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,包括绝缘支撑座、行星式结构的架体、驱动机构、大齿圈及行星架杆上的小齿轮,其特征在于:在架体下部中央留有大口径的抽气口和抽气通道;上、中、下三层托板之间采用倾斜滑道内的滚珠支撑;上下托板间有逆止机构;三层托板及大齿圈之间、小齿轮与行星架杆之间采用销钉连接,通过销钉的插拔实现多种连接组合;通过单一驱动轮的正反转,即可实现工件架整体做单一公转、各个行星架杆做行星式公转+自转、某一架杆在指定靶位前做单一自转并做靶位转换等运动方式,本发明为真空镀膜技术提供一种结构简单、方便快捷的关键部件结构,适合于实验室和多品种、小批量镀膜生产的变化需求。CN10283ACCNN110208021302080216A权利要求书1/1页1.一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,包括绝缘支撑座、行星式结构的架体和驱动机构,其特征在于工件架包括上、中、下三层托板,上、下托板间的逆止机构,数量与镀膜靶相同或为其整数倍的多组行星架杆,各组行星架杆上通过轴承和穿钉连接有小齿轮、与各个小齿轮同时啮合的大齿圈及销钉;采用手工插拔销钉,实现各层托板及大齿圈间的不同组合连接;通过控制唯一驱动轮的正反转,实现工件架整体做单一公转、各组行星架杆做行星式公转+自转、某一架杆在指定靶位前做单一自转并做靶位转换方式的运动。2.根据权利要求1所述的一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,其特征在于所述工件架包括上、中、下三层托板,三层托板之间采用倾斜滑道内的滚珠隔离支撑;下托板通过绝缘支撑座固定于底板之上,连接有偏压电极;中托板外圆周为齿轮,与驱动机构的驱动轮相啮合;上托板上固定各组行星架杆;各托板及大齿圈的中心部位设置有大孔,对应底板的抽气口作为抽气通道。3.根据权利要求1所述的一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,其特征在于在大齿圈上设有连接下托板螺钉、连接中托板螺钉和连接销钉;在上托板上设有上中托板连接销钉;各组行星架杆的小齿轮与下转轴之间通过穿钉相连接。4.根据权利要求1所述的一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,其特征在于在上托板与下托板之间设有逆止机构,包括下托板两侧的逆止架、销轴、拨动块和上托板下面数量与行星架杆相同的逆止挡块。5.根据权利要求1所述的一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,其特征在于工件架整体做单一公转运动是:旋松大齿圈上的连接下托板螺钉,利用连接中托板螺钉和大齿圈上连接销钉将大齿圈和中托板相连接,利用上中托板连接销钉连接上托板和中托板,开启驱动系统带动中托板做正向旋转。6.根据权利要求1所述的一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,其特征在于各组行星架杆做行星式公转+自转运动是:利用大齿圈上的连接下托板螺钉和连接销钉连接大齿圈和下托板,用销钉连接上托板和中托板,用穿钉连接小齿轮与对应的下转轴,在逆止架的前销孔中插入挡销,驱动系统带动中托板做正向旋转。7.根据权利要求1所述的一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,其特征在于某一架杆在指定靶位前做单一自转并做靶位转换运动是:利用大齿圈上的连接中托板螺钉和连接销钉连接大齿圈和中托板,拔出上中托板连接销钉;保留摆放有被镀工件的工作架杆上小齿轮与下转轴之间的穿钉,拔出其余各组架杆上的穿钉;拔出逆止架上前销孔中的挡销;开启驱动系统带动中托板做正向旋转,带动摆放有被镀工件的工作架杆转换至指定靶位前,完成靶位转换运动;驱动系统带动中托板做反向旋转时,工作架杆在指定靶位前做单一自转运动。2CCNN110208021302080216A说明书1/6页一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜技术领域,特别涉及一种用于立式多靶真空溅射(或离子)镀膜机中的具有多种运动方式的行星式工件架。背景技术[0002]在现代科学技术与工业生产中,真空镀膜技术处于非常重要的地位。特别是真空溅射镀膜和真空离子镀膜,是应用极其广泛的物理气相沉积镀膜方法。[0003]在实验室中开展研究工作使用的小型真空镀膜机以及用于小批量多品种镀膜生产的中小型镀膜机,根据不同研究和生产的需求,常常面临随时改变被镀工件品种、数