多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115261808A(43)申请公布日2022.11.01(21)申请号202210970803.4(22)申请日2022.08.13(71)申请人北京北方华创真空技术有限公司地址102600北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室(72)发明人吕明吴子敬刘旭苏艳波(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司11508专利代理师张倚嘉(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C23C14/50(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图8页(54)发明名称多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机(57)摘要本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机，其技术方案要点是：包括轮系、行星齿轮以及同轴固接在行星齿轮上的支撑杆，支撑杆上设置有用于固定被镀工件的工件固定盘，多维旋转工件架还包括用于将驱动支撑杆自转的回转动力转化为驱动工件固定盘围绕水平轴自转的回转动力的第一驱动机构；达到了提高被镀工件表面的膜厚均匀性的目的。CN115261808ACN115261808A权利要求书1/1页1.一种多维旋转工件架，包括轮系、行星齿轮(1)以及同轴固接在行星齿轮(1)上的支撑杆(2)，其特征在于：支撑杆(2)上设置有用于固定被镀工件的工件固定盘(3)，多维旋转工件架还包括用于驱动支撑杆(2)自转的回转动力转化为驱动工件固定盘(3)围绕水平轴自转的回转动力的第一驱动机构(4)。2.根据权利要求1所述的多维旋转工件架，其特征在于：还包括公转盘(5)，行星齿轮(1)转动连接在公转盘(5)上；第一驱动机构(4)包括相对于公转盘(5)位置固定的定位块(41)、与定位块(41)转动连接的从动锥齿轮(42)，以及与支撑杆(2)同轴固接的主动锥齿轮(43)，从动锥齿轮(42)与主动锥齿轮(43)相啮合且从动锥齿轮(42)的轴线与所述水平轴重合，工件固定盘(3)固定在从动锥齿轮(42)上。3.根据权利要求2所述的多维旋转工件架，其特征在于：公转盘(5)上固定有多个安装杆(6)，定位块(41)的一侧栓接有夹紧块(44)，安装杆(6)被夹紧在定位块(41)与夹紧块(44)之间。4.根据权利要求1所述的多维旋转工件架，其特征在于：支撑杆(2)上可拆卸连接有至少一个固定环(7)，每个固定环（7）上均搭接有自转盘（10），所述自转盘（10）套设在支撑杆(2)上，自转盘(10)用于安装多个被镀工件。5.根据权利要求1所述的多维旋转工件架，其特征在于：行星齿轮(1)上同轴固接有传动轴(11)，支撑杆(2)与传动轴(11)之间同轴设置并可拆卸连接。6.根据权利要求1所述的多维旋转工件架，其特征在于：还包括第二驱动机构(8)以及公转盘(5)，行星齿轮(1)转动连接在公转盘(5)上；所述轮系包括与公转盘(5)转动连接的太阳齿轮(13)，太阳齿轮(13)上啮合有与公转盘(5)转动连接的转向齿轮(14)，行星齿轮(1)与转向齿轮(14)相啮合；公转盘(5)上转动连接有与公转盘(5)同轴的主轴(15)，太阳齿轮(13)与主轴(15)固接，第二驱动机构(8)用于驱动主轴(15)围绕自身轴线定轴转动。7.根据权利要求6所述的多维旋转工件架，其特征在于：第二驱动机构(8)包括与主轴(15)同轴固接的第一传动齿轮(82)，第一传动齿轮(82)上啮合有第一驱动齿轮(81)，第二驱动机构(8)还包括用于驱动第一驱动齿轮(81)围绕自身轴线定轴转动的第一伺服电机(83)。8.根据权利要求6所述的多维旋转工件架，其特征在于：还包括第三驱动机构(9)，主轴(15)上套设有与主轴(15)转动连接的法兰(16)，法兰(16)与公转盘(5)同轴固接，第三驱动机构(9)用于驱动法兰(16)围绕自设轴线定轴转动。9.根据权利要求8所述的多维旋转工件架，其特征在于：还包括用于固定的转架底座(17)，转架底座(17)上设置有推力轴承(18)，推力轴承(18)的固定在转架底座(17)上，公转盘(5)设置在推力轴承(18)上。10.一种具有权利要求1‑9任一项所述的多维旋转工件架的真空镀膜机，其特征在于：包括真空腔室(19)，多维旋转工件架设置在真空腔室(19)内部，真空腔室(19)上设置有多个围绕行星齿轮(1)的公转轴线间隔分布的溅射阴极(20)，真空腔室(19)的侧壁上开设有多个与不同溅射阴极(20)一一对应的溅射窗口(21)。2CN115261808A说明书1/6页多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机技术领域[0001]本申请涉及真空镀膜领域，尤其是涉及一种多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机。背景技术[0002