真空镀膜机工件托架.pdf
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真空镀膜机工件托架.pdf
本发明提供一种真空镀膜机工件托架,主要适用于圆柱体、圆锥体、半球体或半球壳体等工件的全表面真空镀膜。本发明采用三个工件固定支架与三个工件换位支架交替轮换支承工件的方式,这样不仅使被镀膜工件的支承面积小、支承稳定,且在换位时,无需对被镀工件进行二次定位,确保了被镀膜工件的外表面一次就能完成全表面真空镀膜,这样既提高了镀膜质量、合格率和工作效率;又改善了操作人员的工作条件,避免了由于二次定位给操作人员带来的危险。
一种真空镀膜机的改良工件.pdf
本发明提供一种真空镀膜机的改良工件,包括第一垂直轴、第二垂直轴、水平伞形齿轮、垂直伞形齿轮、第一水平轴、第二水平轴、筒状外壳、Y字形支架,所述Y字形支架包括金属柱体和橡胶Y字形柱体。本发明的有益效果是将多组伞形齿轮引入到工件传动机构中,使工件完成行星运动,从而接受多角度的涂覆;利用橡胶的弹性并将其做成Y字形柱状,从而使其可以支撑多种型号尺寸的盒类及盒盖类靶材,操作安全、简单,方便更换。
一种真空镀膜机行星式工件架.pdf
一种真空镀膜机行星式工件架,包括动力输入机构、工件架外支架、转笼行星架、转笼驱动部件、容纳工件的转笼、传动链轮和动力传递链条,转笼行星架一端由固定在工件架外支架上的旋转体支撑,转笼行星架另一端旋转中心由固定在工件架外支架上的旋转轴承支撑,转笼行星架至少安装三组以上的转笼驱动部件,每只转笼驱动部件装有转笼链轮,动力传递链条与多个转笼驱动部件的转笼链轮啮合的同时与固定在工件架外支架上的链轮啮合,所述动力输入机构驱动转笼行星架转动。本发明能有效提高镀膜机中工作效率和工件镀层质量,减少工件相互划伤和碰伤的概率,有
多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机.pdf
本申请涉及真空镀膜领域,尤其是涉及一种多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机,其技术方案要点是:包括轮系、行星齿轮以及同轴固接在行星齿轮上的支撑杆,支撑杆上设置有用于固定被镀工件的工件固定盘,多维旋转工件架还包括用于将驱动支撑杆自转的回转动力转化为驱动工件固定盘围绕水平轴自转的回转动力的第一驱动机构;达到了提高被镀工件表面的膜厚均匀性的目的。
一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架.pdf
一种多运动方式的真空镀膜机行星式工件架,包括绝缘支撑座、行星式结构的架体、驱动机构、大齿圈及行星架杆上的小齿轮,其特征在于:在架体下部中央留有大口径的抽气口和抽气通道;上、中、下三层托板之间采用倾斜滑道内的滚珠支撑;上下托板间有逆止机构;三层托板及大齿圈之间、小齿轮与行星架杆之间采用销钉连接,通过销钉的插拔实现多种连接组合;通过单一驱动轮的正反转,即可实现工件架整体做单一公转、各个行星架杆做行星式公转+自转、某一架杆在指定靶位前做单一自转并做靶位转换等运动方式,本发明为真空镀膜技术提供一种结构简单、方便快