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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106048551A(43)申请公布日2016.10.26(21)申请号201610567678.7(22)申请日2016.07.19(71)申请人沈阳大学地址110044辽宁省沈阳市大东区望花南街21号(72)发明人吴洁齐艳宾张凤赐(74)专利代理机构沈阳火炬专利事务所(普通合伙)21228代理人李福义(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书2页说明书3页附图2页(54)发明名称真空镀膜机工件托架(57)摘要本发明提供一种真空镀膜机工件托架,主要适用于圆柱体、圆锥体、半球体或半球壳体等工件的全表面真空镀膜。本发明采用三个工件固定支架与三个工件换位支架交替轮换支承工件的方式,这样不仅使被镀膜工件的支承面积小、支承稳定,且在换位时,无需对被镀工件进行二次定位,确保了被镀膜工件的外表面一次就能完成全表面真空镀膜,这样既提高了镀膜质量、合格率和工作效率;又改善了操作人员的工作条件,避免了由于二次定位给操作人员带来的危险。CN106048551ACN106048551A权利要求书1/2页1.一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:包括固定基座(1)、回转电机(2)、升降电动机(3)、传动螺母(4)、升降底座(5)、从动齿轮支承轴(6)、支承轨道滚轮(7)、升降转盘支承轴(8)、工件固定支架(9)、工件(10)、工件换位支架(11)、升降转盘(12)、从动齿轮(13)、主动齿轮(14)、深沟球轴承(15)、紧定螺钉(16)、真空镀膜室(17)和密封垫圈(18);所述固定基座(1)、升降底座(5)、从动齿轮(13)以及升降转盘(12)自下而上垂直分布且共用同一个轴心,通过升降电动机(3)输出轴螺旋连接;回转电动机(2)装于固定基座(1)的一侧,回转电机(2)输出轴自下而上连接于主动齿轮(14)的轴孔,且通过紧定螺钉(16)固定,主动齿轮(14)水平咬合于从动齿轮(13);所述从动齿轮支承轴(6)下端穿过固定基座(1)上的通孔,上端设有深沟球轴承(15)和支承轨道滚轮(7)与从动齿轮(13)相铰接;所述升降转盘支承轴(8)穿过从动齿轮(13)环形体内孔,下端穿过升降底座(5)上的通孔,上端设有深沟球轴承(15)和支承轨道滚轮(7)与升降转盘(12)相铰接;所述的工件固定支架(9)穿过升降转盘(12)环形体内孔竖直安装,其下端穿过从动齿轮(13)上的通孔;所述的工件换位支架(11)下端穿过升降转盘(12)上的通孔竖直安装。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:固定基座(1)呈直径400mm的圆盘状,位于真空镀膜机的最底端;其端面外圆周上设置有若干法兰通孔,与真空镀膜室(17)上的法兰通孔相对应,经密封垫圈(18)通过螺栓联接;端面上以其中心孔为圆心一周均匀分布四个直径9mm的通孔,可以通过此通孔安装四根从动齿轮支承轴(6);从动齿轮支承轴(6)中段直径12mm,下段制有M8外螺纹。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:回转电动机(2)驱动托架以25r/min的速度始终匀速转动,保证工件(10)在真空镀膜室(17)中镀膜均匀。4.根据权利要求所述的一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:升降底座(5)呈圆盘状,其外圆周上与固定底座(1)相对应的均匀分布四个直径为12mm的通孔,四根从动齿轮支承轴(6)中段呈动配合关系;在升降底座(5)端面约二分之一半径的圆周上均匀分布四个通孔;传动螺母(4)从升降底座(5)中心孔上方穿过以螺纹方式与升降底座(5)相连接。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:升降电动机(3)输出轴的上端设有梯形螺纹,与传动螺母(4)相配合形成螺旋传动;带动工件换位支架(11)作上下垂直运动,使工件固定支架(9)与工件换位支架(11)在竖直方向上交替支承工件(10),以实现工件(10)的真空镀膜表面无漏镀点。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:支承轨道滚轮(7)的外缘设有V形凹槽。7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:从动齿轮(13)为中空圆环状,端面上均匀分布三个通孔;从动齿轮(13)上部设有轮齿与主动齿轮(14)相啮合,下部设有V形外凸式环形滚道,与支承轨道滚轮(7)的V形凹槽相配合以保证从动齿轮(13)在竖直和水平方向上位置固定不变。8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:升降转盘(12)为中空圆环状,其端面圆周上均匀分布有六个通孔;升降转盘(12)圆柱内表面设有V形内凸式环形滚道,与支承轨道滚轮(7)的V形凹槽相配合。9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机工件托架,其特征在于:工件固定支架(9)与