一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨机.pdf
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一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨机.pdf
本发明公开的磨削硅芯或其它晶体材料的磨机,包括磨头部分和定心夹紧机构;所述磨头部分的行星系统包括小齿轮、大齿轮(13)和轴筒(12),所述大齿轮与安装板(14)固联,所述小齿轮分别与大齿轮啮合,所述轴筒通过轴承(1)与轴座(9)连接,所述轴筒两端设置小齿轮和磨轮;所述定心夹紧机构的夹紧部件包括固联在机架上的摇臂支撑(26),与摇臂支撑铰接的左右摇臂,连接左右摇臂的拉簧(29)和固联在左右摇臂上的V型块(27),所述左右摇臂相向设置;所述楔形块(23)设置在左右摇臂之间,楔形块左右侧面分别与左右摇臂内侧面相
一种磨削硅芯或其它晶体材料的磨头装置.pdf
本发明公开的磨削硅芯或其它晶体材料的磨头装置,涉及磨机技术领域,包括安装板(14)、轴座(9)、电机(17)、传动机构和磨轮;其特征在于:还包括行星系统,所述行星系统包括小齿轮、大齿轮(13)和轴筒(12),所述大齿轮(13)与安装板(14)固联,所述小齿轮分别与大齿轮(13)啮合,所述轴筒(12)通过轴承(1)与轴座(9)连接,所述轴筒(12)一端设置小齿轮,所述轴筒(12)另一端设置磨轮;该磨头装置可以实现孔式搭接技术中对硅芯端头的磨削要求,且工作效率高。
一种磨削晶体材料的磨头装置.pdf
一种磨削晶体材料的磨头装置,涉及一种晶体材料的加工设备,其中晶棒(20)夹持在夹紧机构(17)内,晶棒(20)一侧固定在夹紧机构(17)内,晶棒(20)的一端对应两个磨轮(16)之间的间隙,两个磨轮(16)通过旋转轴座(25)内的磨轮固定轴(38)做同向旋转,磨轮固定轴(38)由外部的旋转轴座带动,所述旋转轴座由外接电机(2)带动形成所述磨削晶棒的磨削机构;磨削晶棒的磨削机构与夹紧机构做轴向运动形成晶棒的进给;本发明通过将晶棒夹持在夹紧机构内,实现稳固定位,由磨头装置的磨削晶棒的磨削机构对晶棒较为准确的磨
基于单晶硅棒滚磨一体机的晶体定向与磨削工艺研究.docx
基于单晶硅棒滚磨一体机的晶体定向与磨削工艺研究基于单晶硅棒滚磨一体机的晶体定向与磨削工艺研究摘要:单晶硅棒滚磨一体机是用于加工半导体材料中的单晶硅棒的重要设备,其加工效率和加工质量直接影响到半导体器件的性能。本文以单晶硅棒滚磨一体机为研究对象,通过实验研究了晶体定向对于磨削工艺的影响,通过优化磨削工艺参数,提高了单晶硅棒的加工效率和加工质量。关键词:单晶硅棒滚磨一体机;晶体定向;磨削工艺;加工效率;加工质量1.引言单晶硅是半导体器件制备中的重要材料之一,其性能直接影响到器件的性能。单晶硅棒滚磨一体机是用于
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一种晶体硅芯切割装置,涉及一种晶体硅芯柱体的加工设备,两套过渡机构形成绕线过渡轮(9)对硅棒(8)的前、后、左、右侧的合围结构;四个绕线轮(3)的其中两个轴座A(1)的另一侧设有电机(10)或外接动力机构,金刚砂线(5)环绕两个绕线轮(3)的线槽A(2)后卡在两个绕线过渡轮(9)线槽B(11)的上部,形成对硅棒(8)的左、右多个等距切割;本发明通过利用两根金刚砂线的往复行进对硅棒进行切割,实现了低成本对硅棒的切割,有效地克服了现有技术的无法快速切割方硅芯的弊端;本发明具有结构简单,所切割硅芯规范,成本低的