晶砣去胶装置.pdf
书生****ma
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相关资料
晶砣去胶装置.pdf
本发明公开了一种晶砣去胶装置,其包括机架、设置于机架上的金刚石磨盘和动力装置,所述的动力装置包括正反转电机和减速皮带轮组,金刚石磨盘与减速皮带轮组的动力输出端连接,在机架上还设置有晶砣冷却装置;晶砣冷却装置包括水箱和冷却水滴管,冷却水滴管的出水口设置于金刚石磨盘的上方。
晶砣粘结装置和晶砣粘结方法.pdf
本发明提供一种晶砣粘结装置,包括渗蜡槽和设置在所述渗蜡槽中的隔板和多个晶砣定位块,多个所述晶砣定位块沿所述渗蜡槽的长度方向排列且所述晶砣定位块的一端设置在所述隔板的侧面上。该装置结构简单、使用方便,特别适合大尺寸石英晶片之间的渗蜡处理。本发明还提供一种利用上述装置进行晶砣粘结的方法,其步骤包括:首先采用所述晶砣粘结装置对粘结蜡进行融化处理,然后将待渗蜡晶砣置于晶砣粘结装置中依次进行常压预渗蜡处理和真空渗蜡处理,得到晶砣渗蜡半成品;最后对所述晶砣渗蜡半成品依次进行加热和定型处理,得到渗蜡晶砣成品。该方法步骤
晶砣切割方法.pdf
本发明提供一种晶砣切割方法,其步骤包括将该晶砣粘结在基板上得到晶砣磨削载体,然后对所述晶砣磨削载体依次进行研磨和线切割处理,得到晶砣切割体;其中,线切割处理步骤中所用到的切割液为由切割砂、水基切割液原液、防锈剂和纯水组成的水基游离磨料切割液。采用本发明提供的切割方法对晶砣进行切割加工后,晶砣表面没有切割油,用自来水直接清洗即可,且自来水直接冲洗完之后晶砣表面无油渍残留、洁净度较高。因此该切割方法大大的降低了生产成本,节省了清洗晶砣的时间,提高了工作效率,改善了员工的工作环境。
一种晶圆撕金去胶清洗装置.pdf
本发明涉及一种晶圆加工设备,具体地说是一种晶圆撕金去胶清洗装置,包括浸泡单元、对中盒站单元、去胶单元、清洗单元、机器人和工作台,机器人设置于工作台中部,各个单元环设于所述机器人周围,设置于机器人同一侧的去胶单元和清洗单元叠放设置,晶圆通过机器人依次送至各个单元中;去胶单元包括去胶腔体、去胶臂、去胶夹持托盘和去胶臂移动机构,去胶夹持托盘设置于去胶腔体中,去胶臂安装在去胶臂移动机构上,去胶臂上装有高压去胶药液喷嘴和常压去胶药液喷嘴,在去胶腔体内设有金属回收管路和去胶液回收管路,去胶腔体外侧设有排风接口。本发明
一种洗料式晶硅废料回收去胶装置.pdf
本发明公布了一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,包括弧形上盖、机体,机体内设置有清洗筒和安装架,将机体分隔为净化室、湿法去胶室以及燃烧去胶室,湿法去胶室内设置有去胶液,燃烧去胶室的底部设置有燃烧器;机体的上端设置有安装架,安装架内设置有旋转气缸二组,旋转气缸二组的转轴连接洗料机构,洗料机构包括第一筛网和第二筛网,第一筛网与第二筛网铰接,第一筛网上连接有连接环,连接环与清洗筒铰接,并与清洗筒内壁旋转连接。本发明的目的是针对以上问题,提供一种洗料式晶硅废料回收去胶装置,该装置通过第一筛网和第二筛网,将落入的晶硅废