涡轮分子泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102762870A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102762870A(43)申请公布日2012.10.31(21)申请号201180011499.0(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公(22)申请日2011.07.20司72001代理人严志军杨楷(30)优先权数据2010-1987972010.09.06JP(51)Int.Cl.F04D19/04(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日2012.08.29(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2011/0664712011.07.20(87)PCT申请的公布数据WO2012/032863JA2012.03.15(71)申请人埃地沃兹日本有限公司地址日本千叶县(72)发明人坂口祐幸三轮田透和田昭彦权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书77页页附图附图44页(54)发明名称涡轮分子泵(57)摘要本发明以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且，在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部，形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进行排气后的气体中的一部分，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15a)构成的螺纹槽部被排出，剩余经由开口(51)而被引导至转子筒部(17)的内侧，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15b)构成的螺纹槽部被排出。开口(51)，在形成于转子叶片保持部(31)和台阶部(72)的接合部的情况下，能够承受转子(4)的旋转所导致的应力。另外，通过将设置有平衡器用的重锤的槽(61)设置于比定子螺纹槽(15b)更靠近吸气口侧的间隙部分，从而没有必要缩短定子螺纹槽(15b)的长度。CN102768ACN102762870A权利要求书1/1页1.一种涡轮分子泵，具备：外壳；内筒，配设于所述外壳的中心；转子，被所述内筒轴支，具有：形成于吸气口侧的第1筒部、从所述第1筒部向着所述外壳的内周面而形成的转子叶片、形成于所述第1筒部的下端且外径比所述第1筒部更大的第2筒部、以及将所述第1筒部的下端和所述第2筒部的上端接合的台阶部；定子叶片，相对于所述外壳而固定，并与所述转子叶片相对应地形成；第1螺纹槽部，形成于所述第2筒部的外侧和所述外壳的内侧之间；以及第2螺纹槽部，形成于所述第2筒部的内侧和所述内筒之间；其特征在于，在所述第1筒部和所述台阶部的接合部，设置开口于所述第1筒部和所述台阶部的两方的开口部。2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述开口部等间隔地设置在所述第1筒部和所述台阶部的接合部的整周。3.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其特征在于，所述开口部的角部成为R形状，所述第1筒部处的R形状的半径比所述台阶部处的R形状的半径更小。4.根据权利要求1、2、3所述的涡轮分子泵，其特征在于，在所述转子的内侧的比所述第2螺纹槽部更靠近吸气口侧的部分，形成有质量附加用的凹部。2CN102762870A说明书1/7页涡轮分子泵技术领域[0001]本发明涉及使真空室等成为真空的涡轮分子泵。背景技术[0002]在现有技术中，在制造例如IC制品等的情况下，在各作业室内进行各工序，如果在一个作业室内完成一个工序，则将被作业物向下一个作业室搬送。在此，例如，有时候有必要在一个作业室中使该室内成为真空(真空室)，此时，使用涡轮分子泵。[0003]作为这样的涡轮分子泵，存在着例如如图4所示的复合型涡轮分子泵。在同一图中，在该外壳101形成有吸入口部102和排出口部103。在外壳101内收纳有转子104，在该转子104形成有向着外壳101的内周壁面延伸的转子叶片105和圆筒状的转子筒部117。[0004]而且，在定子侧，相对于转子叶片105，安装有定子叶片106，相对于转子筒部117，在转子筒部117的外侧安装有定子螺纹槽115a，在转子筒部117的内侧安装有定子螺纹槽115b。这样地使用螺纹槽来进行排气的机构被称为霍尔威克(Holweck)式。[0005]从吸入口部102吸入的气体(gas)通过高速旋转的转子叶片105和定子叶片106的相互作用而被压缩，进一步被转子筒部117和定子螺纹槽115a、115b压缩，从排出口部103排出。[0006]此外，为了将气体引导至转子筒部117的内侧的流路，在转子筒部117沿旋转轴的半径方向伸出的部分设有开口151。[0007]这样，在现有示例中，通过使用转子筒部117的内侧的霍尔威克部和外侧的霍尔威克部来进行排气，从而提高排气能力。作为这样的类型的涡轮分子泵的具体示例，能够列举专利文献1。[0008]另外，在转子筒部117的内侧下部，形成有用于设置平衡器用的树脂的槽161。[0009]将平衡