用于切割玻璃的装置及其方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102249527A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102249527A(43)申请公布日2011.11.23(21)申请号201110006515.9(22)申请日2011.01.13(71)申请人苏州德龙激光有限公司地址215021江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号(72)发明人狄建科赵裕兴潘传鹏徐海宾(74)专利代理机构南京苏科专利代理有限责任公司32102代理人王玉国陈忠辉(51)Int.Cl.C03B33/09(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称用于切割玻璃的装置及其方法(57)摘要本发明涉及用于切割玻璃的装置及其方法，CO2激光器的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端布置有聚焦镜，聚焦镜正对于加工平台。用于切割玻璃时，通过球形刀轮在玻璃断裂位置始端初切一个应力源点；聚焦的激光束在玻璃表面形成一个应力破裂带，切割的轮廓线是一个矩形光斑沿着刀轮初切点组成的切割道；冷却介质沿着激光划线的方向喷洒，使应力沿着激光划线切割道发展；通过裂片装置将玻璃沿着激光划线的切割道断裂。实现玻璃正幅面裂断加工，得到符合高精度加工要求尺寸的、边缘质量较好的不同厚度电子玻璃的制品。CN1024957ACN102249527A权利要求书1/1页1.用于切割玻璃的装置，其特征在于：CO2激光器(10)的输出端设置有扩束镜(15)，扩束镜(15)的输出端布置有45度全反射镜(11)，45度全反射镜(11)的输出端布置有聚焦镜(12)，所述聚焦镜(12)正对于加工平台(13)。2.根据权利要求1所述的用于切割玻璃的装置，其特征在于：所述CO2激光器(10)是波长为10640nm的远红外CO2激光器。3.利用权利要求1所述装置用于切割玻璃的方法，其特征在于包括如下步骤：1)通过球形刀轮在玻璃断裂位置始端初切一个应力源点；球形刀轮通过电机控制，从水平距离激光光斑中心50mm处落下，在玻璃上切割道始端留下压痕，作为切割道上应力源；2)聚焦的激光束在玻璃表面形成一个应力破裂带，切割的轮廓线是一个矩形光斑沿着刀轮初切点组成的切割道；通过聚焦光路在玻璃表面形成椭圆型的聚焦点，相对玻璃表面移动激光光点形成所需的切割线；3)冷却介质沿着激光划线的方向喷洒，使应力沿着激光划线切割道发展；淬火气水嘴随着激光光点的移动，淬火气水嘴将冷空气水吹到玻璃表面，对受热区域施行快速淬火，玻璃沿着应力最大的方向产生断裂；4)通过裂片装置将玻璃沿着激光划线的切割道断裂。2CN102249527A说明书1/3页用于切割玻璃的装置及其方法技术领域[0001]本发明涉及一种激光切割设备，尤其涉及一种用于切割玻璃的装置及其方法。背景技术[0002]由于IT产业(小型cell)及电视(大型cell)等不同用途的电子产品持续增长需求，对于玻璃基板有了大型规格1500×1800mm以上切割要求，切割玻璃厚度0.6mm以下切割要求和切割后玻璃强度保持高水平切割要求。[0003]传统的玻璃切割方法是使用钻石或硬金属轮划线，然后用机械的方法折断玻璃，这种方法容易造成材料的浪费，而且切割中往往伴随着切割辅助剂，液态辅助剂的黏附问题和对具有电路结构ITO导电玻璃电路短路影响，切割切面比较粗糙，存在微细的裂纹，存在着局部应力，切割中会产生微小颗粒会溅射到导电玻璃的基地上导致电路机构破坏，切割后还必须进行清洗、抛光等后处理，机械划线切割对玻璃内在的破坏成为导致显示器和触摸屏失效的重要因素，这些切割不良品都是对已经接近成品的电子玻璃一种重要浪费。[0004]玻璃的激光切割可以避免这些问题的出现，而且激光具有非接触、无污染环境、易控制等特性，使其成为当代玻璃切割的重要应用热点，并且逐渐会在工业中得到广泛的应用。首先，玻璃是一种熔融的无机产品，有独特的机械和热导性，这些性能与温度密切相关，常温下，玻璃具有非延展性，是一种理想的脆性材料。如果对玻璃进行加热，随着温度的升高，玻璃的强度就会下降，延展性就会增加，当温度升高到软化温度时，玻璃表现出塑性。因此，在玻璃的激光切割中，控制温度是一个对切割质量具有重要影响的工艺参数。玻璃对于紫外激光和远红外激光具有较强的吸收，一般在90％以上，因此玻璃适合用紫外激光和CO2激光进行加工。紫外激光器功率相对较低，但造价较高；而CO2激光器光束质量因子较好，功率可以做到较高值，价格较低。发明内容[0005]本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种用于切割玻璃的装置及其方法。[0006]本发明的目的通过以下技术方案来实现：[0007]用于切割玻璃的装置，特点是：CO2激光器的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端布置有聚