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高性能复合分子泵.pdf
2023-10-20
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雨巷****彦峰
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高性能复合分子泵.pdf
本发明公开了一种高性能复合分子泵，包括泵壳、转子体、底盘、油池座等，转子体与电机主轴固定连接，该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成；涡轮叶片级包括设于转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶片；筒式牵引级包括设于转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽；隔离环和牵引级定子固定于所述泵壳上。可以同时兼备大抽速和高压缩比，并具有较强的前级抗压能力，可获得高真空与超高真空。
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