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一种复合分子泵.pdf
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一种复合分子泵.pdf
本发明涉及分子泵技术领域，尤其涉及一种复合分子泵，包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子，机芯壳体的上部的外周设有第一导流槽以形成第一牵引级定子，第一导流槽的上端与机芯壳体的内部连通；转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子，牵引级转子与第一牵引级定位对应设置，且牵引级转子的外周设有第二导流槽，定子套设于转子上，且定子包括第一牵引级定子、与涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与牵引级转子对应设置的第二牵引级定子。本发明在机芯壳体上开设第一导流槽形成第一牵引级定子，在转子转动时，机芯壳体内的气体从第一导
2023-08-31
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一种复合分子泵.pdf
本发明涉及分子泵技术领域，尤其涉及一种复合分子泵，包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子，转子的上端封闭，转子自下端面向上开设有安装腔，机芯壳体的上端敞口，且机芯壳体的上部套设于安装腔内，转轴竖直设于机芯壳体内，且转轴的上端设有安装盘，紧固件自下而上穿过安装盘和转子将转轴与转子固定；转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子；定子包括与涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与牵引级转子对应设置的第一牵引级定子。本发明的转子的上端封闭，根本上隔绝了高真空区和低真空区，因此机芯壳体内的气体不能从转子泄漏出去，
2023-08-31
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2023-09-04
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