内容提供者
牵引级复合分子泵.pdf
2023-10-19
10金币
2MB
10页
努力****振宇
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便
相关资料
牵引级复合分子泵.pdf
本发明公开了一种牵引级复合分子泵，包括：泵壳固定设在底盘上；主轴座设在底盘上，主轴经主轴座设在底盘上，主轴的顶端设在泵壳内；电机驱动主轴；转子体固定设在泵壳内的主轴上，转子体外周上沿轴向固定设置至少一层涡轮动叶片；沿转子体轴向设置至少一层涡轮静叶片，涡轮静叶片通过隔离环固定在泵壳上，涡轮静叶片与转子体外周上设置的涡轮动叶片交替排列；转子体内设有筒式牵引级转子，筒式牵引级转子内设置筒式牵引级定子，筒式牵引级定子与筒式牵引级转子具有配合间隙；筒式牵引级定子与筒式牵引级转子之间设有螺旋状导流槽，螺旋状导流槽的出
2023-10-19
10
2MB
立式复合径流分子泵.pdf
一种立式复合径流分子泵，包括上端敞口的泵筒，泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，泵筒内设有径流抽气单元，径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，转子上固设有两平圆盘状的动轮，两动轮平行且间隔设置，静轮设于两动轮之间，静轮与两动轮平行设置，动密封位于下方的动轮的下方，静轮和动密封均固设于泵筒的侧壁上；位于上方的动轮的外侧设有一组涡轮叶列，涡轮叶列由上向下抽气；静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，静轮的中部未设置隔板。由于立式复合径流分子泵可以从泵筒的上方和侧壁同时抽气，且静轮的中部未设置隔板，因此，径流分子泵的
2023-09-02
10
322KB
磁悬浮复合分子泵.pdf
本发明涉及一种磁悬浮复合分子泵。该装置包括泵壳、叶轮、隔环、静片、牵引级定子、永磁高速电机、上保护轴承、下保护轴承、五自由度磁悬浮轴承系统、控制器。本发明采用涡轮级和牵引级复合设计，具有很宽的压力范围(10
2023-09-04
10
1MB
高性能复合分子泵.pdf
本发明公开了一种高性能复合分子泵，包括泵壳、转子体、底盘、油池座等，转子体与电机主轴固定连接，该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成；涡轮叶片级包括设于转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶片；筒式牵引级包括设于转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽；隔离环和牵引级定子固定于所述泵壳上。可以同时兼备大抽速和高压缩比，并具有较强的前级抗压能力，可获得高真空与超高真空。
2023-10-20
10
490KB
一种复合分子泵.pdf
本发明涉及分子泵技术领域，尤其涉及一种复合分子泵，包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子，机芯壳体的上部的外周设有第一导流槽以形成第一牵引级定子，第一导流槽的上端与机芯壳体的内部连通；转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子，牵引级转子与第一牵引级定位对应设置，且牵引级转子的外周设有第二导流槽，定子套设于转子上，且定子包括第一牵引级定子、与涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与牵引级转子对应设置的第二牵引级定子。本发明在机芯壳体上开设第一导流槽形成第一牵引级定子，在转子转动时，机芯壳体内的气体从第一导
2023-08-31
10
524KB