钴靶材的加工方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102554569A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102554569A(43)申请公布日2012.07.11(21)申请号201110456456.5(22)申请日2011.12.30(71)申请人宁波江丰电子材料有限公司地址315400浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号(72)发明人姚力军相原俊夫大岩一彦潘杰王学泽陈玉蓉(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人骆苏华(51)Int.Cl.B23P15/00(2006.01)B24B19/00(2006.01)B24B55/02(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书66页页附图附图22页(54)发明名称钴靶材的加工方法(57)摘要一种钴靶材的加工方法，包括：提供钴靶材；对所述钴靶材表面进行切削；对切削后的钴靶材表面进行磨削，所述磨削采用金刚石砂轮或立方氮化硼砂轮，所述金刚石砂轮的砂轮线速为15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂轮的砂轮线速为20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量为0.005～1毫米。本发明提供的钴靶材的加工方法，使得经过切削后的钴靶材表面的粗糙度进一步的降低，获得了符合溅射需求的钴靶材。CN1025469ACN102554569A权利要求书1/1页1.一种钴靶材的加工方法，其特征在于，包括：提供钴靶材；对所述钴靶材表面进行切削；对切削后的钴靶材表面进行磨削，所述磨削采用金刚石砂轮或立方氮化硼砂轮，所述金刚石砂轮的砂轮线速为15米/秒～35米/秒、立方氮化硼砂轮的砂轮线速为20米/秒～40米/秒，磨削吃刀量为0.005～1毫米。2.如权利要求1所述的钴靶材的加工方法，其特征在于，还包括在磨削过程中采用喷雾方式冷却。3.如权利要求2所述的钴靶材的加工方法，其特征在于，所述喷雾为酒精。4.如权利要求1所述的钴靶材的加工方法，其特征在于，采用PCBN刀具对所述钴靶材表面进行切削，所述PCBN刀具转速范围为250～300转/秒，进给量为0.03～0.08毫米/转，背吃刀量为0.01～0.05毫米。5.如权利要求4所述的钴靶材的加工方法，其特征在于，所述PCBN刀具中CBN的含量为80％。6.如权利要求4所述的钴靶材的加工方法，其特征在于，采用所述PCBN刀具对所述钴靶材表面进行切削时，采用全周夹具固定所述钴靶材。7.如权利要求4所述的钴靶材的加工方法，其特征在于，所述PCBN刀具的参数为：前角g0范围为0～10°，后角a0范围为8～10°，主偏角kr范围为45～75°，刀尖修圆半径re范围为0.4～0.6mm。8.如权利要求1所述的钴靶材的加工方法，其特征在于，所述提供的钴靶材是焊接在背板上的。9.如权利要求8所述的钴靶材的加工方法，其特征在于，还包括：在将所述钴靶材焊接在背板上之后，对所述钴靶材表面进行切削之前，对所述钴靶材进行弯曲度校正、半精加工。2CN102554569A说明书1/6页钴靶材的加工方法技术领域[0001]本发明涉及靶材加工领域，特别是一种钴靶材的加工方法。背景技术[0002]金属钴是银白色过渡金属，熔点为1493℃、比重为8.9，比较坚硬而脆，其延展性、硬度都比铁强，但是磁性较差，金属钴主要用于制造超硬耐热合金、磁性合金、碳化钨的基体或粘合剂等。[0003]钴基合金是钴和铬、钨、铁、镍组中的一种或几种制成的合金的总称。航空航天技术中应用最广泛的合金是钴基合金，这是因为在高温下，钴基合金可以形成难熔的碳化物，这些碳化物不易转为固溶体，扩散活动性小，在温度在1038℃以上时，钴基合金的优越性就显现无遗。在航空涡轮机的结构材料使用含20％-27％铬的钴基合金，可以不要保护覆层就能使材料达高抗氧化性。[0004]刀具中含有一定量钴可以显著地提高刀具的耐磨性和切削性能。含钴50％以上的司太立特硬质合金即使加热到1000℃也不会失去其原有的硬度，如今这种硬质合金已成为含金切削工具和铝件用的最重要材料。在钴基合金中，钴可以将合金组成中其它金属碳化物晶粒结合在一起，使合金具更高的韧性，并减少对冲击的敏感性能，这种合金熔焊在零件表面，可使零件的寿命提高3-7倍。[0005]此外，据报道美国试验用的发电机的锅炉就是用钴合金制造的。钴是磁化一次就能保持磁性的少数金属之一。在热作用下，失去磁性的温度叫居里点，铁的居里点为769℃，镍为358℃，钴可达1150℃。含有60％钴的磁性钢比一般磁性钢的矫顽磁力提高2.5倍。在振动下，一般磁性钢失去差不多1/3的磁性，而钴钢仅失去2％-3.5％的磁性。因而钴在磁性材料上的优势就很明显。钴金属在电镀、玻璃、染色、医药医疗等方面也有广泛应用。[0006]然而，钴是一种高温耐热金属，导热系数小，在加工钴靶材时局部升温高，刀