一种钴钽锆靶材的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111424245A(43)申请公布日2020.07.17(21)申请号202010330861.1(22)申请日2020.04.24(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司地址511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区(72)发明人蔡新志童培云朱刘何坤鹏黄宇彬邓瑞钟振宇(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C22C1/02(2006.01)C22C19/07(2006.01)权利要求书1页说明书5页(54)发明名称一种钴钽锆靶材的制备方法(57)摘要本发明揭示了一种钴钽锆靶材的制备方法，包括以下步骤：按照靶材所需的配比称量Co、Zr和Ta原材料，将原材料装入磁悬浮感应熔炼炉的水冷坩埚内，得到混合物料；将混合物料进行熔炼后得到合金锭；将合金锭进行精炼后得到合金熔体；将合金熔体进行浇铸后得到铸锭；将铸锭进行热轧后得到靶坯；将靶坯进行机加工后得到靶材。本发明提供的一种钴钽锆靶材的制备方法，通过结合熔炼、精炼两种不同的方式制备钴钽锆合金靶材，能有效解决现有技术制备钴钽锆合金靶材纯度底、晶粒大小分布不均且工艺复杂的技术问题。CN111424245ACN111424245A权利要求书1/1页1.一种钴钽锆靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：按照靶材所需的配比称量Co、Zr和Ta原材料，将原材料装入磁悬浮感应熔炼炉的水冷坩埚内，得到混合物料；S2：将所述混合物料进行熔炼后得到合金锭；S3：将所述合金锭进行精炼后得到合金熔体；S4：将所述合金熔体进行浇铸后得到铸锭；S5：将所述铸锭进行热轧后得到靶坯；S6：将所述靶坯进行机加工后得到靶材。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2具体为：将所述磁悬浮感应熔炼炉抽至真空后，充入保护气体洗炉再次抽真空，随后充入新的保护气体，让所述混合物料在真空环境下加热到1300~1450℃，持续时间为8~12min进行熔炼，然后升温至1500℃使混合物料全部熔化，最后冷却至室温后得到合金锭。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S3具体为：将所述合金锭置于真空感应熔炼炉的氧化物坩埚内，真空感应熔炼炉抽至真空后充入新的保护气体，让所述合金锭在真空环境下加热到1250~1350℃使所述合金锭全部熔化，再进行持续时间为3~5min的精炼后得到合金熔体。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S4具体为：开启浇铸系统，使用漏斗控制浇铸速度，对模具进行浇铸，浇铸完成后将熔体冷却至室温后得到铸锭。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S5具体为：将所述铸锭加热后进行轧制，每完成需轧制总变形量的10~20%的轧制工作后，重新加热再进行轧制，如此循环直至完成轧制工作，最后冷却得到靶坯。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述将所述铸锭加热的温度为950~1150℃，持续时间为0.5~1h。7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述将所述铸锭重新加热的温度为950~1150℃，持续时间为10~15min。8.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述模具和漏斗预先放置在200~300℃的烘箱内烘烤，持续时间为1~3h。9.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述充入新的保护气体后，使熔炼炉内压力保持为0.06~0.12MPa。10.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述使用漏斗控制浇铸速度对模具进行浇铸的过程中，使模具沿上下和左右方向同时进行振动，振动频率为30~50Hz。2CN111424245A说明书1/5页一种钴钽锆靶材的制备方法技术领域[0001]本发明涉及靶材制备技术领域，尤其涉及一种钴钽锆靶材的制备方法。背景技术[0002]电感器作为电子线路三大基础元件之一，被广泛应用在电脑、消费电子、通讯设备等各电子领域，电感器按结构可分为插装式电感器和贴片式电感器(又称片式电感器)两大类，片式电感器又可分为叠层型电感器、绕线型电感器和薄膜型电感器三种。[0003]薄膜型电感器由于磁性薄膜的引入，不仅可以有效提高电感量，而且可以有效改善电感器的高频性能，薄膜型电感器的出现为电感器的精细化、高频化和智能化开辟了新章程，将成为未来电感器的主流。随着消费者对手机等数码产品的要求提高和手机行业的竞争加剧，国内外市场对电感器件的需求迅速提升，所以要求更精细更精密的滤波器、电感器等。钴钽锆合金是一种重要的软磁材料，具有较好的磁化特性，是新一代信息技术产业磁记录材料的重要原材料之一，因此制备高纯的钴钽锆靶材尤为重要。[0004]目前，关于钴钽锆合金靶材的生产方法的科研及工业应用的相关报道，工业界制备钴钽锆靶材一般采用的生产方法为：1、量取Co、Ta、Zr三