表面轮廓扫描式工件预截取部分称重装置.pdf
一吃****永贺
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表面轮廓扫描式工件预截取部分称重装置.pdf
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工件表面轮廓在位测量系统及方法.pdf
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抛光工件表面轮廓各频段误差的分离方法,涉及光学表面加工方法。1)对采用光学检测装置检测得到的被测光学元件表面的检测曲线进行拟合,得到拟合曲线和残差;2)将残差进行经验模态分解,得到各阶固有模态函数和剩余信号;3)计算各阶固有模态函数的瞬时频率曲线及其平均波长;4)根据各阶固有模态函数的平均波长及其特征将所有固有模态函数分为高、中、低频组,将高频和中频组进行组内叠加得到光学表面轮廓的高频和中频误差;将低频组、剩余信号及拟合曲线叠加得到包含低频误差的面形。
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