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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102712076102712076B(45)授权公告日2014.10.15(21)申请号201080061275.6(51)Int.Cl.(22)申请日2010.06.09B24B55/02(2006.01)B24D7/10(2006.01)(30)优先权数据2010-0049982010.01.13JP(56)对比文件JPS60259378A,1985.12.21,(85)PCT国际申请进入国家阶段日CN1178494A,1998.04.08,2012.07.12JP2005138235A,2005.06.02,(86)PCT国际申请的申请数据CN1263488A,2000.08.16,PCT/JP2010/0597482010.06.09JPS6154459U,1986.04.12,(87)PCT国际申请的公布数据CN1208682A,1999.02.24,WO2011/086715JA2011.07.21JP2008238389A,2008.10.09,(73)专利权人联合材料公司审查员潘洪地址日本东京(72)发明人石津智广冈西幸绪熊泽照之(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人张宝荣权权利要求书2页利要求书2页说明书12页说明书12页附图37页附图37页(54)发明名称超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法以及晶片(57)摘要本发明提供一种能够使磨削液均匀分散且能够实现稳定的旋转的超级磨粒砂轮。超级磨粒砂轮(1)具备以旋转轴为中心旋转的基体件(10)和与基体件(10)固接的超级磨粒层(20)。基体件(10)具有第一面(201)和位于该第一面(201)的相反侧的第二面(202)。在由超级磨粒层(20)包围的第二面(202)的部分上设有朝向远离第一面(201)的方向突出的环状的第一突条部(121)。在比第一突条部(121)靠内侧的第二面(202)设有基准面(110)。从基准面(110)到第一突条部(121)的高度由A表示,在第一突条部(121)与超级磨粒层(20)之间的第二面(202)的部分上设有距基准面(110)的高度为B的顶部(114)。高度BCN102712076BCN10276B大于高度A。CN102712076B权利要求书1/2页1.一种超级磨粒砂轮,具备:以旋转轴为中心旋转的基体件(10);与所述基体件固接的超级磨粒层(20),其中,所述基体件具有第一面(201)和位于该第一面的相反侧的第二面(202),在由所述超级磨粒层包围的所述第二面的部分上设有向远离所述第一面的方向突出的环状的突条部(121),在比所述突条部靠内侧的所述第二面的部分设有基准面(110),从所述基准面到所述突条部的高度由A表示,在所述突条部与所述超级磨粒层之间的所述第二面的部分设有距所述基准面的高度为B的顶部(114),高度B大于高度A,所述突条部(121)由立壁(111)与倒锥面(112)构成,向所述基体件供给磨削液,由于所述基体件旋转,因此磨削液受到向外侧方向的离心力,由于因重力而向下方移动,因此该磨削液沿着所述立壁向下侧移动,并且越过所述立壁的磨削液远离所述倒锥面进行扩散。2.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮,其中,所述突条部的内周侧壁面与所述旋转轴大致平行。3.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮,其中,多个所述突条部设置在所述超级磨粒层的内周侧,在相邻的所述突条部中,内周侧的突条部的距所述基准面的高度低于外周侧的突条部的距所述基准面的高度。4.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮,其中,位于最内周侧的所述突条部的距所述基准面的高度为3mm以上。5.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮,其中,所述高度B与所述高度A之差为1mm以上。6.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮,其中,所述突条部为圆环状。7.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮,其中,所述突条部具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。8.一种制造晶片的方法,其中,使权利要求1所述的超级磨粒砂轮的所述超级磨粒层与晶片接触,从所述突条部的内周侧供给磨削液并同时研磨晶片。9.一种晶片,其是通过权利要求8所述的方法制造的晶片。10.一种超级磨粒砂轮,具备:以旋转轴为中心旋转的基体件(10);与所述基体件固接的超级磨粒层(20),其中,所述基体件具有第一面(201)和位于该第一面的相反侧的第二面(202),还具备突条构件(1000),该突条构件(1000)具有设置在由所述超级磨粒层包围的所述第二面的部分上且向远离所述第一面的方向突出的环状的突条部(121),2CN102712076B权利要求书2/2页在比所述突条部靠内侧的所述第二面的部分设有基准面(110),