连续式水平溅镀机传输机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102839357102839357B(45)授权公告日2014.08.06(21)申请号201210377232.XCN1683587A,2005.10.19,CN202865332U,2013.04.10,(22)申请日2012.10.08CN202038669U,2011.11.16,(73)专利权人赫得纳米科技（昆山）有限公司地址215300江苏省苏州市昆山高科技工业审查员彭芳芳园都市路21号(72)发明人黄国兴费文池王光华姜建峰(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224代理人董建林(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/34(2006.01)(56)对比文件CN202038669U,2011.11.16,CN202279493U,2012.06.20,权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图2页附图2页(54)发明名称连续式水平溅镀机传输机构(57)摘要本发明公开了一种连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于:所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径；所述传输载盘的四个角为圆角。本发明提供的连续式水平溅镀机传输机构，在传输侧面增加侧面导向支撑结构，很好的保护了侧面导向轴承，把各侧面导向轴承连接起来使两侧一直保证在水平线上，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率，并节约了大量的劳动力与生产成本。CN102839357BCN10283957BCN102839357B权利要求书1/1页1.连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于：所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径，所述侧面导向支撑为长条形结构。2.根据权利要求1所述的连续式水平溅镀机传输机构，其特征在于：所述侧面导向支撑，材质为不锈钢。3.根据权利要求1或2所述的连续式水平溅镀机传输机构，其特征在于：所述传输载盘的四个角为圆角。2CN102839357B说明书1/2页连续式水平溅镀机传输机构技术领域[0001]本发明涉及一种连续式水平溅镀机传输机构。背景技术[0002]连续式水平溅镀机是一种在高真空条件下，利用气体放电产生的荷能离子在电场的作用下高速轰击阴极靶材，使靶材原子和分子逸出而沉积到基片上形成薄膜的机器，传输马达带动链条转动从而带动传输导轮使载盘前进的传输方式被广泛应用，如图1和图2所示，目前连续式水平溅镀机所使用的这种传输方式，在长时间的传输过程中经常会出现传输载盘传动受阻和卡在两侧侧面导向轴承之间的设备故障，造成生产停止，使维护成本提高，如果不能及时处理，会浪费大量的人力和物力，最终造成生产成本的提高。发明内容[0003]目的：为了克服现有技术中存在的不足，解决现有技术中正常生产时载盘在传输过程中发生跑偏而卡住载盘而使生产停止的问题，本发明提供一种连续式水平溅镀机传输机构，使用方便，结构简单，成本低，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率并节约了大量的劳动力与生产成本。[0004]技术方案：为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于:所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径。[0005]所述侧面导向支撑为长条形结构，材质为不锈钢。[0006]所述传输载盘的四个角为圆角。[0007]有益效果：本发明提供的连续式水平溅镀机传输机构，在传输侧面增加侧面导向支撑结构，侧面导向轴承安装在里面只露出小部分外径大大减少了溅镀粉尘进入侧面导向轴承，很好的保护了侧面导向轴承，另此侧面支撑把各侧面导向轴承连接起来使两侧一直保证在水平线上，另传输载盘的四个直角改为圆角，所以即使传输载盘跑偏也只会接触到侧面导向支撑，由于角度很小不会造成传输载盘卡在其传动处，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率，并节约了大量的劳动力与生产成本。附图说明[0008]图1和图2为现有技术的连续式水平溅镀机