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研磨装置和研磨方法.pdf
2023-10-19
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雨巷****怡轩
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研磨装置和研磨方法.pdf
本发明提供研磨装置和研磨方法，实现研磨液使用量的降低和/或研磨品质劣化的抑制。研磨装置具备：用于支承研磨垫并使该研磨垫旋转的研磨台；用于保持对象物并将对象物按接到研磨垫的保持体；研磨液供给装置，该研磨液供给装置具有接触部件，在接触部件与研磨垫接触或相邻的状态下向接触部件的底面的开口部供给研磨液而使研磨液在研磨垫上扩散，利用接触部件拦截由于研磨垫的旋转而返回的使用后的研磨液的至少一部分，接触部件根据相对于研磨垫的径向的角度，而取得将被拦截的研磨液留在研磨垫上的方向或排出的方向的研磨液供给装置；与研磨液供给装
2023-11-07
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研磨装置和研磨方法.pdf
本发明公开了研磨装置和研磨方法。所述研磨装置包括：上表面盘；下表面盘，所述下表面盘被设置成面对着所述上表面盘并且在与所述上表面盘的旋转方向相反的方向上旋转；太阳齿轮，所述太阳齿轮绕着所述上表面盘和所述下表面盘共同的旋转轴旋转；内齿轮，所述内齿轮绕着所述上表面盘和所述下表面盘共同的旋转轴旋转；以及行星齿轮架，在所述行星齿轮架中形成有用于保持工件的保持孔，并且所述行星齿轮架在与所述太阳齿轮及所述内齿轮咬合着进行自转的同时公转。所述行星齿轮架中的所述保持孔设置有缺口，所述缺口位于当所述行星齿轮架自转时所述保持孔
2023-10-19
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研磨方法和研磨装置.pdf
本发明提供一种研磨方法和研磨装置，所述研磨方法能够以足够的研磨速率对衬底的表面(待研磨面)进行研磨，并且能够得到所希望的研磨轮廓，而且能够防止未研磨部在研磨后残留在衬底的表面。所述研磨方法一边通过向研磨垫喷射气体以控制所述研磨垫的温度一边通过所述研磨垫对待研磨面进行研磨。所述研磨方法包括：一边对所述气体的流量或喷射方向进行PID控制一边在研磨期间监视所述待研磨衬底的研磨状态；并且当达到所述被研磨膜的预定膜厚时，改变所述研磨垫的控制温度。
2023-10-20
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用于研磨装置的研磨度设定的方法和研磨装置的研磨度设定组件.pdf
一种研磨度设定组件(1)、尤其遥测的研磨度设定组件(1),具有用于研磨咖啡豆(7)的至少一个研磨装置(2)和至少一个研磨装置(2)的研磨度设定设备(5)。研磨度设定组件(1)此外包括至少一个远程操作单元(10),其在与至少一个研磨装置(2)的研磨度设定设备(5)的有效连接中调整至少一个研磨装置(2)的研磨度。
2023-06-06
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研磨装置和研磨操作方法.pdf
本发明提供了一种研磨装置，包括第一转轴、第二转轴、第三转轴，其中，第一转轴上可安装第一研磨轮并在受驱动时带动第一研磨轮旋转，第二转轴上可安装第二研磨轮并在受驱动时带动第二研磨轮旋转，第三转轴上可安装第三研磨轮并在受驱动时带动第三研磨轮旋转。第一转轴可在驱动下带动第一研磨轮至少在两个方向(如在XZ两个方向)上移动，以使该第一研磨轮可对工件进行表面加工处理并可移向第二转轴上的该第二研磨轮。第二转轴可在驱动下带动该第二研磨轮旋转运动以使该第二研磨轮对第一转轴上的该第一研磨轮进行修整。第三转轴可在驱动下带动该第三
2023-08-30
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