滚轮式压印系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103149794A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103149794103149794A(43)申请公布日2013.06.12(21)申请号201210210756.X(22)申请日2012.06.20(30)优先权数据1001449062011.12.06TW13/484,5612012.05.31US(71)申请人私立中原大学地址中国台湾桃园县中坜市(72)发明人李有璋吴祚享陈柏廷(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人王雪静魏晓波(51)Int.Cl.G03F7/00(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书7页说明书7页附图9页附图9页(54)发明名称滚轮式压印系统(57)摘要一种滚轮式压印系统，包含滚轮模块、传动模块、固定模块、固化模块、及电子控制模块，以利用滚轮的施压使得软性模具上的图案可以顺利地转印至基板上。CN103149794ACN103497ACN103149794A权利要求书1/1页1.一种滚轮式压印系统，适用于转印一软性模仁的一图案至一基板，其特征在于，包括：一滚轮模块，包含一滚轮；一传动模块，包含可移动的一承载平台，且该承载平台上安置有该基板；一履带模块，承载该软性模仁使其位于该基板与该滚轮之间，该软性模仁上的一图案层面向该基板，且该图案位于该图案层上；以及一电子控制模块，连接该滚轮模块与该传动模块，用以控制该滚轮呈现一第一方向移动并且使该承载平台呈现一第二方向移动至一压印位置，其中该电子控制模块控制该滚轮对该软性模仁施加压力，以将该图案层的该图案转印至该基板上。2.如权利要求1所述的滚轮式压印系统，其特征在于：该滚轮模块包含一滚轮自转马达且该滚轮自转马达连接该滚轮用以使该滚轮具有一转速。3.如权利要求2所述的滚轮式压印系统，其特征在于：该转速可与该承载平台的移动速度相互搭配以顺利将该图案层转印至该基板。4.如权利要求1所述的滚轮式压印系统，其特征在于：该滚轮模块更包含一滚轮升降机构用以带动该滚轮呈现该第一方向的移动。5.如权利要求1所述的滚轮式压印系统，其特征在于：该滚轮模块到达一定位点之后该承载平台才开始进行移动，或是该滚轮模块与该承载平台于压印前到达定位。6.如权利要求1所述的滚轮式压印系统，其特征在于：该软性模仁可经该履带模块承载而渐进式贴附至该滚轮表面上、或渐进式覆盖于该基板上再开始进行滚轮压印的制程。7.如权利要求1所述的滚轮式压印系统，其特征在于：该履带模块包含一齿轮马达组、一履带吸条组及一支架组。8.如权利要求1所述的滚轮式压印系统，其特征在于：该传动模块更包含一线性移动装置用以与该传动马达相互搭配以使该承载平台进行移动，其中该线性移动装置可为螺杆、滑轨、导杆或是轨道。9.如权利要求1所述的滚轮式压印系统，其特征在于：更包含一固定模块具有多数个导气孔或导气通道并连接一真空源以将该基板固定于该固定模块上。10.如权利要求1所述的滚轮式压印系统，其特征在于：该滚轮式压印系统可包含一固化模块邻近于该传动模块，用以藉由该固化模块的一灯罩将该固化模块的光线引导至该滚轮与该软性模仁的一接触位置，其中该固化模块包含一紫外光源。2CN103149794A说明书1/7页滚轮式压印系统技术领域[0001]本发明是有关一种压印装置，特别是有关一种运用软性模具将图形复制在基板上的滚轮式压印系统。背景技术[0002]现今电子化产品不断强调迷你、轻薄短小与高效能兼具的主要特性，代表利用半导体工业开发出来的核心组件也必须朝着迷你、轻薄短小与高效能兼具的方向持续发展。目前半导体工业主要发展瓶颈在于线宽尺寸，当线宽尺寸距离越小，核心组件的尺寸也可以随之缩小；而在效能方面，由于线宽尺寸距离缩短，使能量传递的速度越快、功率损耗缩小，效能也可以随之提高。[0003]传统半导体工业制作核心组件的方法为光学微影（PhotoLithography），而在光学方面由于受聚焦深度的成像物理限制，即使在曲率极小的平面上制作结构图形也很困难，所以对于缩小线宽尺寸的瓶颈仍然难以克服。目前能达到纳米尺寸的微影技术（Lithography）有步进重复式微影（StepandRepeatLithography）、电子束微影技术（E-beamLithography）、离子束微影技术（Ion-beamLithography）、及纳米压印微影技术（NanoimprintLithography）等等。其中纳米压印微影技术不受光学绕射极限的限制且具有分辨率高、速度快、以及成本低廉等特色，因此应用领域相当广泛。发明内容[0004]鉴于上述的发明背景中，为了符合产业利益的需求以及达到上述的目的，本发明提出一种滚轮式压印系统，适用于转印一图案至一基板，其